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FBAR温度传感器研究 学号：220132587 姓名：王玲 日期：2013-12-20 FBAR温度传感器研究 Research of FBAR temperature sensor 摘要 近年来，微机电制造技术的发展使得薄膜体声波谐振器(FBAR)获得了广泛的商业应用。一方面，FBAR在移动通信领域扮演着重要角色，由于FBAR射频器件具有体积小、工作频率高、插入损耗小、功率容量大等优点，FBAR振荡器、滤波器、双工器已经广泛应用于移动通信领域。另一方面，FBAR在传感器领域也发展迅速，FBAR传感器的高灵敏度和高可靠性引起了人们的广泛研究兴趣。虽然FBAR传感器的发展仍然处于实验室研究阶段，但随着对其研究的不断深入，相信不久的将来，它将会被广泛应用于很多领域。 Abstract Recent years, with the significant development of the MEMS fabrication, film bulk acoustic resonator (FBAR) has obtained an extensive business application. On one hand, FBAR plays an important role in mobile communication area. Because of these excellent properties of small size, high frequency, low insert-loss, high power capacity of the FBAR RF devices, the oscillators, filters, duplexers made of FBAR have been used extensively in mobile communication area. On the other hand, FBAR sensors are developing rapidly. Researchers are becoming more interested in FBAR sensors with very high sensitivity and reliability. It is believed that FBAR sensors will make a wide application in the not long future. 1绪论 现代信息技术促使人类社会进入了信息化时代。信息获取、信息传输、信息处理是信息技术的基础，而传感器技术、通信技术、计算机技术分别构成了信息技术系统的感官、神经和大脑，传感器技术在其中显得尤为重要。传感器技术的水平直接影响检测控制系统和信息系统的技术水平，具有促进传统产业和行业的技术跳跃式进步的作用。目前，传感器已经应用于人们生活的方方面面，可以说，掌握了核心传感器技术，就意味着站在了科技发展的制高点。 1.1传感器基础 传感器是测试测量系统发展的产物，而测试测量系统则是伴随着人类社会的进步而发展起来的。早期的测试测量系统通常都是依靠机械构造实现测量的目的， 但是，随着社会的进步，科学技术日新月异，人们对测量数据的要求越来越复杂，对测量的精度要求也越来越高，机械构造的测量已经不能满足人们的要求。电子技术的出现促使古老的测量系统进入了传感器的时代。 传感器技术是现代工业技术的重要标志之一。那么，什么是传感器呢?根据国家标准GB7665-87的定义，传感器是指能感受规定的被测量并按照一定规律转换成可用输出信号的器件或装置[1]。从广义的角度来说，传感器也可以这样来定义:一种能把特定的信息(如物理量、化学量、生物量等)按固定的规律转换成某种可用信号并能输出的器件或者装置。从狭义的角度来说，传感器是把非电量信息转换为电量信号输出的器件[2]。无论如何，传感器最重要的两个组成部分是:敏感元件与转换元件[3]。传感器的组成框图如图1-1所示: 图1-1传感器组成框图 传感器技术是构成现代信息技术的三大支柱之一，人们在利用信息的过程中，首先必须要获取信息，然后才能对信息加以利用。传感器就是获取信息的主要手段和途径，传感器就像人体的感觉器官，可以把各种非电量转换为电量，从而实现电量的电测技术。在信息技术持续快速发展的今天，传感器技术不仅对现代化科学技术、现代化农业及工业自动化的发展起到基础和支柱的作用，没有传感器也就没有人类现代化的生活和条件，传感器技术已经受到世界各国的高度重视，已经成为科学技术和国民经济发展水平的标志之一。 1.2 FBAR传感器 目前，FBAR已在移动通信领域获得了广泛的商业应用，但由于其本身具有优良的特性，其在传感器领域的应用正引起人们广