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洁净室基础知识
洁净室的定义
洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间,其建造和使用方式可最大限度减少房间进入的、产生的和滞留的粒子。房间内的温度、湿度、压力等其他相关参数均按要求受控(ISO 14644-6定义)。
洁净室的四大技术要素
1.送风至少经过三级过滤(粗效、中效和高效),并且高效过滤器应设置在系统的末端。
2.洁净室应有足够的净化和空调的送风量。
3.洁净室应维持必要的压力梯度(正压梯度或负压梯度)。
4.洁净室应有合理的气流组织。
洁净室的分类
按气流流型洁净室可划分为:
▲ 单向流洁净室
▲ 非单向流洁净室
▲ 混合流洁净室
▲ 矢流洁净室
另一种分类方法
单向流洁净室
单向流(层流)洁净室,又分垂直单向流和水平单向流洁净室两种。
单向流气流的净化原理是活塞和挤压原理,把灰尘从一端向另一端挤压出去,用洁净气流置换污染气流。包括有垂直单向流和水平单向流。
垂直单向流是气流以一定的速度(0.25m/s~0.5m/s)从顶棚流向地坪的气流流型。这种气流能创造100级、10级、1级或更高洁净级别。但其初投资很高、运行费很高,工程中尽量将其面积压缩到最小,用到必须用的部位。
水平单向流是气流以一定的速度(0.3m/s~0.5m/s)从一面墙流向对面的墙的气流流型。该气流可创造100级的净化级别。其初投资和运行费低于垂直单向流流型。
非单向流洁净室
非单向流洁净室的气流流型又可分为顶 送下回;顶送下侧回;顶送顶回等。
图2 非单向流气流流型
非单向流气流的净化原理是稀释原理。一般型式为高效过滤器送风口顶部送风;回风的型式有下部回风、侧下部回风和顶部回风等。
依不同送风换气次数,实现不同的净化级别,其初投资和运行费用也不同。
三、混合流洁净室
图3 混合流气流流型
混合流气流是将垂直单向流和非单向流两种气流组合在一起构成的气流流型。
这种气流的特点是将垂直单向流面积压缩到最小,用大面积非单向流替代大面积单向流以利节省初投资和运行费。
四、矢流(对角流)洁净室
▲ 选上侧圆弧型高效过滤器风口送风,对侧下回风口回风的气流流型。
图4 矢流气流流型
矢流洁净室的气流是以放射型的流线流出,流线之间没有竖向交叉,可用相对少量的送风获得较高级别的洁净度。多用在医药、医疗和电子等行业的小洁净室中。在某些特殊的实验室中也得到广泛的应用。
低稳速置换流送风末端装置(静压箱式辐流送风罩),将洁净室顶板和送风风道相组合,使送风风道、送风末端单元与顶板集合为一体,使之成为静压箱式空调送风管道;将回风系统管道与洁净室壁墙进行科学结合,并且使室内的送风口采用沿室内通长布置形式的弧形微孔板结构,采用在下侧布置回风口的方式。在室内建立了“矢流”的流场,从而达到用尽可能少的洁净空气满足室内所需的洁净度级别的目的。此系统可使室内受控区域实现近似层流状态的推进式置换流场,改变室内气流的乱流现象,使受控区悬浮粒子浓度、自净时间、抗干扰性能均得到显著的提高。
▲ 工业洁净室
▲ 生物洁净室
按洁净室主要的控制对象分类
工业洁净室
1、工业洁净室主要的控制对象是灰尘粒子(无论是有生命的、无生命的)。
2、工业洁净室主要应用在电子、航天、航空、机械、化工、化学制药、能源、纳米等工业中。
尤其是电子工业和光电子工业更是离不开洁净室和洁净技术。
生物洁净室
1、生物洁净室主要控制对象是有生命的、活的微生物粒子,如病菌、病毒等对人类、动物、环境有害的粒子。
2、生物洁净室广泛地应用在医疗(洁净手术室、洁净病房)、生物制药、实验动物饲养、生物安全实验室、卫生防疫检疫的事业中。生物洁净室的发展速度非常快,而且得到了各方的认同和重视。
工业洁净室与生物洁净室的差别表
比较项目
工业洁净室
生物洁净室
研究对象
(主要)
灰尘、粒子只有一次污染。
微生物、病菌等活的粒子不断生长繁殖,会诱发二次污染(代谢物、粪便)。
控制方法
净化措施
主要是采取过滤方法。粗、中、高三级过滤,粗、中、高、超高四级过滤和化学过滤器等。
主要是采取:铲除微生物生长的条件,控制微生物的孳生、繁殖和切断微生物的传播途径。过滤和灭菌等。
控制目标
控制有害粒径粒子浓度。
控制微生物的产生、繁殖和传播,同时控制其代谢物。
对生产工艺
的危害
关键部位只要一颗灰尘就能造成产品的极大危害。
有害的微生物达到一定的浓度以后才能够成危害。
对洁净室建筑
材料的要求
所有材料(墙、顶、地等)不产尘、不积尘、耐磨
所有材料应耐水、耐腐且不能提供微生物孳生繁殖条件。
对人和物进入
的控制
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