特殊气体的操作和安全运行知识精要.pptxVIP

特殊气体的操作和安全运行知识 1 特殊气体和大宗气体的供应方式 安全预防 操作要求 目录 第一部分 特殊气体和大宗气体的供应方式 2 大宗气体N2、O2、Ar常用的供应方式以固定式的大型桶槽为主，将桶槽 安置于厂区附近，架构独立的供应区与土木基础，以槽车定期进行填灌 ，高压的液态气体经蒸发器蒸发为气态后，供应现场使用，若有纯化的 需求则需透过气体纯化机将气体精制成生产线需求的规格使用；H2则经 常使用两座多组钢瓶串接的方式进行供应，当一座的气体使用完后，另 一座的气体将自动接续供应，使供气不致中断，并以整座串接钢瓶更换 的方式进行气体的补充。此外，也有所谓的on-site供应方式，将需求的 气体于现场直接制造供应生产线；另有由气体供货商直接架设地下管路 进行集中式的供应，就像目前天然气供应方式。但此法因管线太长，且 埋设于地下，供应点复杂，除非供货商有很好的系统设计，可防止断气 、排除管路的污染或供应质量不稳定的状况，否则此种供应虽然方便， 却因工艺对气体质量的要求相当高，风险值也相对的较高。倘若源头供 应质量不良，导致厂房的工艺断气或污染，其损失之大，将不下于停电 所造成的巨额费用。相对的，以槽车或钢瓶的供应方式，因其出货前可 透过质量的检验，确保供气的质量，风险也就较低。 3 特殊气体和大宗气体的供应方式 随着在光电产业中危险的特殊气体如硅甲烷的用量持续增加， 使用较大型之包装容器，并配合大流量自动供给系统，俨然成 为光电制造工厂气体输送技术主流。更多有关安全标准的研究 及测试，特别是储藏使用设施所需预留距离的估算，以及安全 操作法规如Uniform Fire Code等也随之急须被建立。气体的 使用在CVD制程中一直扮演着重要的角色，而气体的纯度则对 组件性能、产品良率有着决定性的影响，气体供应的安全性则 关乎人员的健康与工厂运作的安全。气体一般可简单的区分为 大宗气体(Bulk Gases)，如N2、H2、O2、Ar等使用量较大的气 体，和特殊气体(Specialty Gases)，如SiH4、AsH3、PH3…等 以钢瓶供应的气体。 4 特殊气体和大宗气体的供应方式 特殊气体的供应方式截至目前为止，几乎皆用钢瓶的方式进行，一般常 用的为高压钢瓶，但依其填充的气体特性又可分为气态与液态钢瓶，一 般气体皆为气态钢瓶，其填充压力亦高，气体以气态储存于钢瓶内；低 蒸气压的气体则以液态储存于钢瓶内。另有一种吸附式的气体储存钢瓶 ，即所谓的安全供应气源(SDS, Safe Delivery Source)，可藉由介质如 沸石和活性碳对特定的气体如PH3、AsH3、BF3、SiF4等进行物理吸附， 以气体分子与吸附剂间的凡得瓦力将气体吸附于吸附剂的孔隙中，其优 点为供应压力低于一大气压，无泄漏之余。经实验结果，即使泄漏亦不 致发生爆炸或造成足以危害人体的毒气浓度，安全性佳，而且供应量可 为传统高压钢瓶的数倍至数十倍。然此种供气无法使用于目前所有的工 艺气体，亦少使用者使用此种系统进行中央集中式的供应方式。 5 特殊气体和大宗气体的供应方式 6 针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体，通常设计将钢瓶置于气瓶柜(Gas Cabinet)内，再透过管路将气体供应至现场附近的阀箱(VMB, Valve Manifold Box)，而后再进入制程机台的使用点(POU, Point of Use)，于进入机台腔体之前，会有独立的气体控制盘(GB, Gas Box)与制程控制模块联机，以质流控制器(MFC, Mass Flow Controller)进行流量之控制与进气的混合比例控制，通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴，而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀盘(VMP, Valve Manifold Panel)进行供应。 特殊气体和大宗气体的供应方式 第二部分 安全预防 7 特气供应系统是半导体厂中危险性最高的一环，只要有任何的疏失都可 能造成人员、厂房、设备的严重损失，特别是其中有些气体如SiH4的自 燃性，只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应，开始燃烧；还有AsH3 的剧毒性，任何些微的泄漏都可能造成人员生命的危害，也就是因为这 些显而易见的危险，所以对于系统设计安全性的要求就特别高。通常严 重危害的事件，都是人们忽视其危险性或对其特性上的无知，甚或人员 操作维护上的疏忽所造成，反而越危险的物质，大家投注更多的关心与 防护，造成严重危害的情形较不容易发生。 8 安全预防 事件发生流程： 首先假设人员在更换钢瓶后，未将接头完全锁紧即开始供气，此时第一阶 段保护的管路压力测试失效(目前的气瓶柜几乎皆有此项之设计)，才可 能发生接下来的泄漏状况；当气体开始燃烧后，第二阶段的火焰侦测器 侦测