通过JSM-6380LA型扫描电镜和JED-2300型能谱仪对氧化铝非导电化合物进行高真空、低真空下形貌观察及成分检验分解.docxVIP

目 录 摘 要 - 1 - 1 前 言 - 2 - 1.1研究背景与意义 - 2 - 1.2扫描电子显微镜SEM的工作原理与结构简介 - 2 - 1.2.1电子束的发射 - 2 - 1.2.2电镜的光阑作用与偏转扫描系统 - 2 - 1.2.3电子束激发出的信号类型及作用 - 2 - 1.2.4信号的接收与处理 - 2 - 1.2.5 EDS的原理介绍 - 2 - 2 实验内容及方法 - 3 - 2.1试验材料及试样制备 - 3 - 2.2非导电化合物的SEM观察实验 - 3 - 2.3非导电化合物的EDS分析 - 4 - 3 实验数据与分析 - 5 - 3.1高真空SEM试验参数对分辨率的影响结果及讨论 - 5 - 3.1.1电子束斑直径对图像分辨率的影响 - 5 - 3.1.2加速电压对图像分辨率的影响 - 6 - 3.1.3工作距离对图像分辨率的影响 - 7 - 3.2低真空SEM对非导电化合物的观察实验 - 8 - 3.2.1光阑选择对图像影响 - 9 - 3.2.2加速电压对图像分辨率的影响 - 10 - 3.2.3电子束斑直径对图像分辨率影响 - 10 - 3.2.4真空度对图像分辨率影响 - 11 - 3.3特征X射线能谱对非导电化合物的分析 - 14 - 3.3.1表面喷铂金对非导电化合物EDS成分分析的影响 - 14 - 3.3.2真空度对非导电化合物EDS成