medici仿真.pptVIP

主要内容 Medici仿真 SOI简介 结终端 ENDIF理论 Medici Medici是先驱（AVANT！）公司的一个用来进行二维器件模拟的软件，它对势能场和载流子的二维分布建模，通过解泊松方程和电子、空穴的电流连续性等方程来获取特定偏置下的电学特性 Medici仿真 一 程序讲解 二 仿真技巧和经验总结 程序讲解 宏定义（可有可无）+网格+材料定义+电极+ 掺杂+模型和算法+求解 宏定义： ASSIGN NAME= N.VAL= ASSIGN NAME=W N.VAL=36 ASSIGN NAME=Nd N.VAL=1e15 profile region=topsi n-type n.peak=@Nd uniform 网格： MESH:初始化网表的生成 X.MESH:描述X方向上的网格线的位置 Y.MESH:描述Y方向上的网格线的位置 ELIMINATE:沿着网格线缩减节点 SPREAD:沿着水平网格线调整节点的垂直位置 BOUNDRY:调整模拟的网表以适应边界的界面 REGRID可以用来用来对这种网格进一步优化. 网格定义的几种方法 1 Y.MESH N=1 L=-0.025 Y.MESH N=3 L=0 2 Y.MESH DEPTH=1.0 H1=0.125 3 y.mesh loc=-0.6 spac=0.1 y.mesh loc=1 spac=0.2 4 y.mesh loc=0 h1=0.1 y.mesh loc=2 h1=0.2 5 y.mesh width=10 h1=0.1 5 SPREA D RIGHT WIDTH=.625 UP=1 LO=3 THICK=.1 这个SPREAD语句将前三条网格线的在右边的间隔从栅区氧化层厚度过渡到0.1微米 减稀网格的语句 材料定义 region name=sio x.min=0 x.max=4 +y.max=0 oxide region name=si x.min=0 x.max=4 +y.min=0 y.max=4 silicon 定义sio区低K，在掺杂之后定义介电常数 material region=sio permitti=2 Loop step=6 ASSIGN NAME=TRCH N.VAL=(0) DELTA=@W+@D REGION NAME=A POLYG oxide +X.PO=(@TRCH,@TRCH+@D,@TRCH+@D,@TRCH) + Y.PO=(@Ts-@H,@Ts-@H,@Ts,@Ts) l.end 电极 electrode name=source x.min=0 x.max=2.5 +y.max=0 void electrode name=source x.min=0 x.max=2.5 +y.max=0 热电极： electrode name=heat bottom thermal 掺杂 profile region=topsi n-type n.peak=@Nd uniform profile region=topsi p-type n.peak=5e16 +x.erfc xy.ratio=0.8 x.max=6 y.junction=5 模型和算法 复合: SRH | CONSRH SRH复合/与浓度有关的SRH复合 R.TUNNEL 带带隧穿 AUGER 俄歇复合 能带相关的模型: BGN 禁带变窄效应 FN.CUR Fowler-Nordheim tunneling model BOLTZMAN | FERMIDIR 统计分布 INCOMPLE 不完全电离 IMPACT.I 碰撞电离(电场相关) II.TEMP 碰撞电离(载流子温度相关) BTBT