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课堂守则 请将通讯工具调到震动状态。 请勿在上课期间，随意进出，以免影响其他同事。 请勿交头接耳、大声喧哗。 如有特殊事情，在征得培训导师的同意的情况下，方可离场。 以上守则，各位学员共同遵守。 干菲林 制程目的 经钻孔及通孔电镀后, 内外层已连通, 本制程制作外层线路, 以达电性的完整. 干菲林 图像转移的工艺方法 网印图像转移：成本低，但只能制作大于或等于0.2mm的印制导线。 光化学图像转移：能制造分辨率高的清晰图像，一般可做到0.075mm;薄型干膜可做到0.05mm。光化学图像转移需使用光致抗蚀剂，能抵住蚀刻液或电镀溶液浸蚀的感光材料。 干膜(dry film)的发展史 1968年由杜邦公司开发出来这种感光性聚合物的干膜后，PCB的制作就进入另一纪元. 到1984年末杜邦的专利到期后，日本的HITACHI也有自己的品牌问世。 尔后就陆续有其它厂牌加入此一战场. 干菲林 干膜的组成 水溶性干膜主要是由于其组成中含有机酸根，会与强碱反应使成为有机酸的盐类，可被水溶掉。 其组成见图，水溶性干膜最早由Dynachem 推出, 以碳酸钠显像，用稀氢氧化钠剥膜，当然经不断改进才有今日成熟而完整的产品线. 干菲林 干膜是由聚酯薄膜、光致抗蚀剂膜及聚乙烯保护膜三部分组成，结构见图： 聚酯薄膜 支持感光胶层的载体，使之涂布成膜，厚度通常为25um左右。聚酯薄膜在曝光后显像前撕去，防止曝光时的氧气向抗蚀剂层扩散，破坏游离基，引起感光度下降。 6）热阻聚剂：阻止热能对干膜的聚合作用，一般为甲氧基酚，对苯二酚 7）色料：使干膜呈现鲜艳的颜色，便于检查和修理，一般为孔雀石绿、苏丹三等色料 8）溶剂：溶解上述各组分，一般为丙酮、酒精等 干菲林 干菲林 压膜机 压膜机可分手动及自动两种。 有收集聚乙烯膜隔层的卷轮，干膜主轮，加热轮，抽风设备等四主要部份, 进行连续作业, 其示意见右图。 干菲林 一般压膜条件为： 压膜热轮温度　　　 100°±10℃ 板面温度 　　　　　50±10℃ 压膜速度 　　　　　1.5~2.5米／分 压力　　　　　　　 15-40 psi 干菲林 贴膜 贴膜要掌握好压力、温度、速度三要素 大批量生产时，在要求的传送速度下，热压辊难以提供足够的热量，因此，需给要贴膜的板子进行预热。 完整的贴膜应是表面平整、无皱折、无气泡、无灰尘颗粒等夹杂，为保持工艺的稳定性，贴膜后应经过15分钟的冷却及恢复期再进行曝光。 干菲林 压膜机 a. 传统手动压膜机须两人作业，一人在机前送板，一人在机后收板并切断干膜，此方式用在样品、小量多料时适合，对人力、物料的耗用浪费颇多。 b.自动压膜机市面上HAKUTO，CEDAL，SCHMID等多种厂牌，其机构动作在板前缘粘压干膜方式及压膜后边缘切膜动作多有不同，但都朝产速加快，节省干膜以及粘贴能力上在改进。 c. 国内志胜几年前开发自动压膜机颇为成功国内多家大厂均有使用 。 干菲林 d. 干膜在上述之温度下达到其玻璃态转化点而具有流动性及填充性，而能覆盖铜面。但温度不可太高，否则会引起干膜的聚合而造成显像的困难。压膜前板子若能预热,可增强其附着力。 e. 为达到细线路高密度板之高品质，必须从环境及设备上着手，干膜之压膜需要在无尘室中进行（10K 级以上），环境温度应控制在23℃±3℃，相对湿度应保持50％RH±5％左右。操作人员也要戴手套及抗静电之无尘衣帽。 　　 干菲林 曝光 曝光即在紫外光照射下，光引发剂吸收了光能分解成游离基，游离基再引发光聚合单体进行聚合交联反应，反应后形成不溶于稀碱溶液的体型大分子结构。 干菲林 曝光 Exposure － 手动与自动 　 － 平行光与非平行光 　 － LDI镭射直接曝光 曝光机种类 A. 手动曝光机，是将将欲曝光板子上下底片以手动定PIN对位后，送入机台面， 吸真空后曝光。 干菲林 自动曝机一般含Loading/ unloading，须于板子外框先做好工具孔，做初步定 位再由机台上之CCD，Check底片与孔的对位状况，并做微调后入曝光区曝 光。依目前的精密须求程度，不以视觉机器自动对位，恐怕做不到好品质的 板子。 干菲林 C. 如何量测及评估曝光 机的平行度： 定义： 从平行度(collimate)字面的意思就是使直向行进，而从光的眼光而言则是让光行进同时垂直于照射面。图8.3是平行光与非平行光之比较 干菲林 量测方法及工具：　 一般量测平行度的方法是用一种叫平行度像机(Collimation Camera) 其量测方式是以此工具置于感光纸或感光物上曝光，之后再量偏移度其示意图如下（右图 (a,b)： 干菲林 干菲林