第三章 扫描电子显微镜-1.ppt

人射束和样品表面法线平行时，二次电子的产额最少。 若样品表面倾斜，则电子束穿入样品激发二次电子的有效深度增加，入射电子使距表面5-10nm的作用体积内逸出表面的二次电子数量增多(见图中黑色区域)。 若入射电子束进入了较深的部位(例如图中的A点)，虽然也能激发出一定数量的自由电子，但因A点距表面较远(大于5-10nm)，自由电子只能被样品吸收而无法逸出表面。 * This escape volume limits the resolution in images produced with BSE and x-ray (element mapping) to a value that is of the order of size of the escape volume, regardless of how small the actual diameter of the incident electron beam may be. * Interaction volume will determine resolution of EDS in SEM and will be discussed more Later. Keep in mind interaction volume inversely proportional to atomic number, Z. Electrons can penetrate into sample and the higher the energy, the deeper range the electrons can penetrate. Beam-sample interaction volume is proportional to the electron energy. On the other hand, the x-ray generation range depends on critical ionization energy of elements, Ec. Ec-K line Ec-L line. Electrons lose their energy due to multiple inelastic scattering while they are penetrating the sample. That is why the x-ray generation range of K line is smaller than that of L line, since the former needs higher energy to be excited, whereas the energy of electrons become smaller and smaller as they penetrate deeper and deeper into the sample. 应该指出的是电子束射人重元素样品中时，作用体积不呈滴状，而是半球状:电子束进入表面后立即向横向扩展，因此在分析重元素时，即使电子束的束斑很细小，也不能达到较高的分辨率，此时二次电子的分辨率和背散射电子的分辨率之间的差距明显变小。由此可见，在其它条件相同的情况下(如信号噪音比、磁场条件及机械振动等)，电子束的束斑大小、检测信号的类型以及检测部位的原子序数是影响扫描电子显微镜分辨率的三大因素。 Conductivity:导电率 Rad: 弧度 电子显微镜是以电子束为照明源，通过电子流对样品的透射或反射及电磁透镜的多级放大后在荧光屏上成像的大型仪器，而光学显微镜则是利用可见光照明，将微小物体形成放大影像的光学仪器。概括起来，电镜与光镜主要有以下几个方面的区别： ①照明源不同。电镜所用的照明源是电子枪发出的电子流，而光镜的照明源是可见光(日光或灯光)，由于电子流的波长远短于光波波长，故电镜的放大及分辨率显著地高于光镜。 ②透镜不同。电镜中起放大作用的物镜是电磁透镜(能在中央部位产生磁场的环形电磁线圈)，而光镜的物镜则是玻璃磨制而成的光学透镜。电镜中的电磁透镜共有三组，分别与光镜中聚光镜、物镜和目镜的功能相当。 ③成像原理不同。在电镜中，作用于被检样品的电子束经电磁透镜放大后打到荧光屏上成像或作用于感光胶片成像。其电子浓淡的差别产生的机理是，电子束作用于被检样品时，入射电子与物质的原子发生碰撞产生散射，由于样品不同部位对电子有不同散射度，故样品电子像以浓淡呈现。而光镜中样品的物像以亮度差呈现，它是由被检样品的不同结构吸收光线多少的不同所造成的。 ④所用标本制备方式不同，电镜观察所用组织细胞标本的制备程序较复杂，技术难度和费用都较高，在取材、固定、脱水和包埋等环节上需要特殊的试剂和操