SOP-112一厂单晶炉热场安装作业指导书.docVIP

浙江昱辉阳光能源有限公司 作 业 指 导 书 产品名称 太阳能硅单晶 工序 长晶 作业工序名称 热场安装 页码 第1页 共3页 文件编号 Q03-SOP-112 版本 A/0 生效日期 2010年12月1日 一、目的 规范长晶用热系统的安装，使得热系统的安装受控。 二、范围 一厂JRDL/800单晶炉 三、准备的材料 无尘纸、不锈钢小车、力矩扳手、手电筒、石墨纸、直角尺、工作服、帆布手套、防尘口罩、酒精 序号 步骤 操作方法 操作标准 图示化 使用工具及物料 注意事项 1 热场移至炉台边 用不锈钢小车将清理完毕的石墨大件平稳移到单晶炉左侧边。 平行炉台距离50cm 不锈钢小车、防尘口罩、帆布手套 2 安装炉底碳毡，压片，保温桶，电极，护套 依次装好石墨电极→炉底碳毡→炉底下压片→上压片下之间碳毡→炉底上压片→电极护套→石英护套下保温罩→两侧排气管→埚杆护套→。 严格按次序，保温筒卡口到位 3 装石墨纸 石墨电极上下接触面放置一层石墨纸。 检查接触面平整，防止打火 石墨纸 4 对排气孔 将排气管与下炉筒两边排气孔对正用手电筒或观察窗玻璃校正排气孔 排气管入槽 手电筒 批准 审核 编制 修改履历 浙江昱辉阳光能源有限公司 作 业 指 导 书 产品名称 太阳能硅单晶 工序 长晶 作业工序名称 热场安装 页码 第2页 共3页 文件编号 Q03-SOP-112 版本 A/0 生效日期 2010年12月1日 序号 步骤 操作方法 操作标准 图示化 使用工具及物料 注意事项 5 安装加热器 将清理后的加热器装好，拧上石墨螺丝 石墨螺丝松紧适度，防止打火 加热器力矩扳手 6 安装中保温桶 将清理后的中保温筒装好，卡口到位。并校正与加热器的间距，要均匀一致 测量四周间距差值≤2mm 直角尺 7 降炉筒 打开液压泵，升起炉筒至上限，清洗下炉筒上下的结合部，同时转动炉筒到适当位置。 炉筒定位环与导柱同轴 无尘纸 8 校对测温孔 下降炉筒降到位后，校对测温孔 前后炉次欧陆数值在同一工序不得相差200点 手电筒 9 安装热电锥 安装热电锥，将其及对应的密封及玻璃按原次序装好。 热电锥螺丝松紧适度，连接线接触良好，欧陆信号正常 备注： 浙江昱辉阳光能源有限公司 作 业 指 导 书 产品名称 太阳能硅片 工序 长晶 作业工序名称 热场安装 页码 第3页 共3页 文件编号 Q03-SOP-112 版本 A/0 生效日期 2010年12月1日 序号 步骤 操作方法 操作标准 图示化 使用工具及物料 注意事项 10 安装上保温桶 将清理后的上保温罩装好，并卡口接到位。 四周入槽，测量盖距为190mm--205mm 11 安装托杆 .用专用工具装好埚杆。要拧紧埚杆螺丝 检查托杆不晃动 托杆扳手 托杆不要拧太紧，防止螺丝滑丝 12 检查埚转及埚升降 打开并检查埚转及埚快速升降 显示值与实际值一致，无卡滞现象 13 安装埚托，三瓣埚 依次装好埚托、三瓣埚。 确认埚杆、埚底、三瓣埚是否吻合 14 检查对中 装好后要打开埚转旋转一下，检验三瓣埚与加热器间距是否均匀 测量四周间距差值≤2mm 直角尺 备注：