多晶硅薄膜的制备与发展.pptVIP

太阳能电池·材料·制造·检测技术 多晶硅薄膜的制备与发展 13能源二 解士琳 目 录 CONTENTS 一、 二、 三、 四、 介绍 发展背景 制备方法 未来趋势 一、 介绍 问题 分类 原料 简介 介绍 ① 简介 多晶硅薄膜在一些半导体器件及集成电路中得到了广泛的应用。由于多晶硅生产成本低，效率稳定性好、光电转换效率高，多晶硅薄膜的研究备受关注。目前多晶硅薄膜已广泛地用于各种微电子器件的制造，其用途从栅极材料和互联引线发展到绝缘隔离、钝化、太阳能电池、各种光电器件等。 原料 ② 多晶硅 现今多（单）晶硅是主要的光伏材料，其市场占有率在90％以上,而且在今后相当长的一段时期也依然是太阳能电池的主流材料。多晶硅材料的生产技术长期以来掌握在美、日、德等3个国家7个公司的10家工厂手中，形成技术封锁、市场垄断的状况。　　它的需求主要来自于太阳能和半导体电池。按纯度要求不同，分为电子级和太阳能级。其中，用于电子级多晶硅占55％左右，太阳能级多晶硅占45％，随着光伏产业的迅猛发展，太阳能电池对多晶硅需求量的增长速度高于半导体多晶硅的发展。它的最终用途主要是生产集成电路、分立器件和太阳能电池片。 分类 ③ ① ② ② ① 按晶粒大小分类 晶粒较大，完全由多晶硅颗粒组成。 由部分晶化、晶粒细小的多晶硅镶嵌在非晶硅中组成。 纳米硅：晶粒大小在10nm左右。 微晶硅薄膜：