光栅光阀的衍射原理资料.pptVIP

by Z.J.Wan, NGIA-HUST 光栅光阀的衍射原理 万助军 华中科技大学光学与电子信息学院 zhujun.wan@ * by Z.J.Wan, NGIA-HUST * 什么是光栅光阀? 光栅光阀– Grating Light Valve（GLV），一维的反射条阵列，每个反射条可独立产生不同的凹陷深度 以MEMS（Micro-Electro-Mechanical System，微电子机械系统）技术制作 * by Z.J.Wan, NGIA-HUST * 动态的反射式相位光栅 通过静电引力驱动，反射条阵列间隔的凹陷一定深度，构成动态的反射式相位光栅，光栅的调制深度可动态调谐。 * by Z.J.Wan, NGIA-HUST * 用于投影系统中的GLV 应用于投影系统中的GLV，光束以一定角度倾斜入射，-2级衍射光与入射光重合并反向。 衍射效率随光栅调制深度的变化 各级衍射效率均可动态调谐 栅格表面镀铝，反射率为92% 0级衍射效率的峰值呈递减变化 * by Z.J.Wan, NGIA-HUST * 用于投影系统中的GLV 配色方案：每个像素由三个子像素构成，子像素的周期各不相同，分别将RGB三原色的（-1）级衍射光指向GLV芯片的法线方向，通过GLV的调制深度来调节衍射效率，从而控制RGB每个单色光的强度，实现混色显示。 * by Z.J.Wan, NGIA-HUST * 用于投影系统中的GLV GLV投影技术：斯坦福大学开发，SONY公司购得专利 GLV是一维线阵，另一显示维度通过扫描镜实现 * by Z.J.Wan, NGIA-HUST * GLV工作原理 x z p h 光栅#1 光栅#2 d 2p 光栅周期：d 2p，x轴位移: p，z轴位移：h 总的衍射图样由三个因子构成： 单槽衍射图样（槽宽p）； 多槽干涉图样（周期d 2p）； 光栅#1与#2之间的干涉。 前面两条在之前的课程中有详细讲授，下面针对第三条进行分析。 GLV可视为两个光栅的叠加 * by Z.J.Wan, NGIA-HUST * 两光栅之间的相移： GLV工作原理 两光栅之间的干涉因子： 根据-2级衍射光与入射光重合并反向，得到入射角： 总的衍射图样： （多缝干涉） （单缝衍射） （两栅干涉） * by Z.J.Wan, NGIA-HUST * GLV工作原理 0级、±1级衍射光的衍射效率随调制深度的变化关系 ±1级衍射效率的变化不同步（前述参考文献采用简化模型，精确分析结果表明确实不同步） 0级衍射效率的峰值未见递减变化（应有未考虑到的因素） * by Z.J.Wan, NGIA-HUST * 遮蔽效应（Shadowing Effect） 当GLV存在调制时，由于入射光和衍射光的倾斜角度，一部分光束入射或者衍射在凹陷栅格的侧壁上，降低了衍射效率，这种情况称为遮蔽效应。 考虑遮蔽效应，凹陷栅格的有效孔径τ 1，两光栅之间的干涉因子修正为： * by Z.J.Wan, NGIA-HUST * 遮蔽效应（Shadowing Effect） 考虑遮蔽效应，可以看到，各级衍射光的衍射效率峰值均呈递减变化。 * by Z.J.Wan, NGIA-HUST * 参考文献 Raj B. Apte, Grating Light Valves for High Resolution Displays, 1994, pp7-10 D. T. Amm, et. al., Grating Light Valve Technology: Update and Novel Applications, the Society for Information Display SID 1998, Symposium panel Reflective Light Valves by Z.J.Wan, NGIA-HUST