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静电放电（ESD）及防护 刘清松 深圳市亨达洋静电技术有限公司 目录 一．??术语及定义 二．?? 静电的产生 1. 静电现象 2. 静电的产生主要有三种方式： 1.摩擦; 2.感应; 3.传导 三．??静电对电子工业的影响 1. 静电对电子元件的影响 2. 半导体器件静电击穿及其规律 四. ESD三种型式 1. 人体型式 2. 微电子器件带电型式 3. 场感应型式 五. 静电防护: 1.? 接地 2.?屏蔽 3.?中和 六. 防静电产品 防静电的一般工艺规程要求 术语及定义 1.静电ELECTROSTATIC DISCHARGE 物体表面过剩或不足的静止的电荷 2.静电场：静电在其周围形成电场 3.静电放电ELECTROSTATIC DISCHARGE（ESD） 两个具有不同静电电位的物体，由于直接接触或静电场感应引起两物体间的静电电荷的转移。静电电场的能量达到一定程度后，击穿其间介质而进行放电现象。 4.静电敏感度（ELECTROSTATIC SUSCEPTIVITY） 元