NBTI on the fly.doc

NBTI测量方案分析 NBTI测量方案分析 On-the-Fly NBTI测量方法 负偏压温度不稳定性（Negative Bias Temperature Instability，NBTI）由于其动态恢复效应的影响，测量难度非常大。传统的测量方案如图1所示。由于Vth测量带来的栅应力电压的不连续性以及较长的测量时间，会引起较大的NBTI动态恢复。 目前主要采用的测量方法是一种被称为On-the-Fly的测量方法。如图2所示。通过将栅电压直接降到工作电压（而不是先将到0，然后上升到工作电压），同时在漏电极施加一个小电压（～50mV），然后测量器件的线性区漏电流ID,lin，来测量NBTI效应。 影响On-the-Fly测量准确性的重要因素 （a）Initial ID的测量： On-the-Fly测量中须测量器件在没有施加应力时的线性区漏电流，称为Initial ID，即ID,lin t 0 。实际测量中测量的都是在栅电极上施加一定时间的工作电压后的漏电流，如图3所示。因此，要获得准确的ID,lin t 0 ，就必须尽可能的缩短ID,lin t 0 的测量时间。根据J. F. Zhang等人的工作，如图4【1】所示当测量时间小于6μs，能够获得准确的ID,lin t 0 。 （b）栅电极施加应力后ID,lin t 的测量： 由于ID,lin t 是在栅电压为器件工作电压下测量的，栅电极所施加的应力减小，会造成NBTI的动态恢复。因此，ID,lin t 的测量时间（如图3所以，Time of measure ID）必须尽可能的小。如图5【1】所示，ID,lin t 的测量时间小于10μs时，可以测得准确的ID,lin t 。 考虑到NBTI相关参数受到具体制造工艺的影响，以上对ID,lin t 0 和ID,lin t 测量时间的限制，我们只作为一个参考值。 3.NBTI测量解决方案 Agilent公司和Keithley公司提供的NBTI测量方案： SMU Only Need Pulse mode Agilent B1500A B1530A Keithley 4200-PIV-Q 这里只分析B1500A Timing-On-the-Fly NBTI测量方案。图6给出了Timing-On-the-Fly NBTI测量的波形图和关键测量参数。 分析可以得到，B1500A Timing-On-the-Fly NBTI测量方案ID,lin t 0 的最小测量时间为100μs，而ID,lin t 0 的测量时间小于6μs时才能测量到准确的ID,lin t 0 。从图4可以得到，由此引起的ID,lin t 0 测量误差小于1%。因此，B1500A Timing-On-the-Fly NBTI测量方案中ID,lin t 0 的最小测量时间对NBTI的测量影响很小。 B1500A Timing-On-the-Fly NBTI测量方案ID,lin t 的最小测量时间为1ms，从图5可以得到由此引起测量误差约20%。 通过分析，我们发现B1500A Timing-On-the-Fly NBTI测量方案中，ID,lin t 的最小测量时间是影响NBTI测量准确性的主要因素。 结论 ID,lin t 0 和ID,lin t 的测量时间是影响On-the-Fly NBTI测量的重要因素。B1500A Timing-On-the-Fly NBTI测量方案中ID,lin t 的最小测量时间是影响NBTI测量准确性的主要因素。要提高NBTI的测量准确性，必需大幅缩减ID,lin t 的最小测量时间。