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第2章 扫描电子显微镜 扫描电镜的发展 扫描电镜的工作原理 扫描电镜的形貌和原子衬度 扫描电镜在材料中的应用 电子探针显微分析技术及应用 扫描电镜的特点 样品制备简单 多角度观察 景深大 放大倍数连续可调 观察样品表面形貌的同时可作微区成分分析 2.1 扫描电镜的发展 目前采用常规的钨灯丝电子枪的二次电子像分辨率为3.5nm 采用LaB6电子枪的分辨率为2.5nm 采用场发射电子枪的分辨率则为1.5~0.8nm 2.2 扫描电镜的工作原理 如图所示，将从样品中激发出各种有用的信息，它们包括： 背散射电子 是指被固体样品原子反弹回来的一部分入射电子，它来自样品表层0.1~1?m深度范围，其能量近似于入射电子能量，背散射电子产额随原子序数的增加而增加。利用背散射电子作为成象信号不仅能分析形貌特征，也可用来显示原子序数衬度，定性地进行成份分析。 二次电子 二次电子是被入射电子轰击出来的核外电子，它来自于样品表面100?左右(50~500?)区域，能量为0～50eV，分辨率可达到50~100? 二次电子产额随原子序数的变化不明显，主要决定于表面形貌。 吸收电子 残存在样品中的入射电子，经多次散射被样品吸收，称吸收电子。若在样品和地之间接入一个高灵敏度的电流表，就可以测得样品对地的信号，这个信号是由吸收电子提供的。 已应用于扫描电镜和电子探针 特征X射线 样品中原子受入射电子激发后，在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电磁波辐射，其发射深度为0.5~5?m范围。 分析样品微区的元素组成 俄歇电子 从距样品表面几个?(不超过1nm)深度范围内发射的并具有特征能量的二次电子，能量在50～1500eV之间。俄歇电子信号适用于表面化学成份分析。 透射电子 当样品足够薄时(?0.1?m)，透过样品的入射电子即为透射电子，其能量近似于入射电子的能量。 阴极荧光 入射电子束轰击发光材料表面时，从样品中激发出来的可见光或红外光。 感应电动势 入射电子束照射半导体器件的PN结时，将产生由于电子束照射而引起的电动势。 上述信息，可以采用不同的检测仪器，将其转变为放大的电信号，并在显象管荧光屏上或X－Y记录仪上显示出来，这就是相关仪器的功能。 2.2.2 扫描电镜工作原理和结构 工作原理 主要结构 工作原理 在扫描电镜中，电子枪发射出来的电子束，一般经过三个电磁透镜聚焦后，形成直径为5nm的电子束。末级透镜（也称物镜，但它不起放大作用，仍是一个会聚透镜）上部的扫描线圈能使电子束在试样表面上作光栅状扫描。 试样在电子束作用下，激发出各种信号，信号的强度取决于试样表面的形貌、受激区域的成份和晶体取向，置于试样附近的探测器和试样接地之间的高灵敏毫微安计把激发出来的电子信号接收下来，经信号处理放大系统后，输送到显象管栅极以调制显象管的亮度。 由于显象管中的电子束和镜筒中的电子束是同步扫描的，显象管上各点的亮度是由试样上各点激发出来的电子信号强度来调制的，即由试样上任一点所收集来的信号强度与显象管荧光屏上相应点亮度是一一对应的。 通常所用的扫描电镜图象有二次电子象和背散射电子象。 主要结构 组成：电子光学系统、信号接受处理显示系统、供电系统、真空系统。 结构原理图如图。 电子枪-不同发射源的参数 扫描电镜与透射电镜的主要区别 1. 扫描电镜电子光学部分只有起聚焦作用的会聚透镜，而没有透射电镜里起成象放大作用的物镜、中间镜和投影镜。这些电磁透镜所起的作用在扫描电镜中是用信号接受处理显示系统来完成的。 2. 扫描电镜的成象过程与透射电镜的成象原理是完全不同的。透射电镜是利用电磁透镜成象，并一次成象；扫描电镜的成象不需要成象透镜，它类似于电视显象过程，其图象按一定时间空间顺序逐点形成，并在镜体外显象管上显示。 2.2.3 扫描电镜主要性能指标 扫描电镜的分辨率 扫描电镜的放大倍数 扫描电镜的景深 2.2.3.1 扫描电镜分辨率 扫描电镜的分辨本领有两重含义： 对于微区成份分析而言，它是指能分析的最小区域； 对于成象而言，它是指能分辨两点之间的最小距离。 两者主要取决于入射电子束的直径，但并不等于直径，因为入射电子束与试样相互作用会使入射电子束在试样内的有效激发范围大大超过入射束的直径，如图。入射电子激发试样内各种信号的发射范围不同，因此各种信号成象的分辨本领不同（如下表）。 各种信号成象的分辨本领 扫描电镜的景深是指在样品深度方向可能观察的程度。在电子显微镜和光学显微镜中，扫描电镜的景深最大，对金属材料的断口分析具有特殊的优势。 2.2.3.2 放大倍数及有效放大倍数 扫描电镜的放大倍数M取决于显象管荧光屏尺寸S2和入射束在试样表面扫描距离S1之比，即： M＝S2／S1 由于荧光屏尺寸S2是固定