SilvacoTCAD器件仿真1题材.ppt

Lattice Heating and Energy Balance Models * Silvaco学习 * 推荐的物理模型选择 MOSFETs类型 srh，cvt，bgn BJT,thyristors等器件类型 Klasrh，klaaug，kla，bgn 击穿仿真 Impact,selb * Silvaco学习 * 器件仿真流程 * Silvaco学习 * ATLAS语法格式 * Silvaco学习 * Parameter Description Value Required Example Character Any character string Yes material=silicon Integer Any whole number Yes region=1 Logical A true or false condition No gaussian Real Any real number Yes x.min=0.1 ATLAS的语法格式： ATLAS的statement同ATHENA中的command 参数类型及其要求如下： STATEMENT PARAMETER=VALUE 肖特基二极管的例子 ATLAS示例库diodeex01 * Silvaco学习 * go atlas mesh space.mult=1.0 # x.mesh loc=0.00 spac=0.5 x.mesh loc=3.00 spac=0.2 x.mesh loc=5.00 spac=0.25 x.mesh loc=7.00 spac=0.25 x.mesh loc=9.00 spac=0.2 x.mesh loc=12.00 spac=0.5 # y.mesh loc=0.00 spac=0.1 y.mesh loc=1.00 spac=0.1 y.mesh loc=2.00 spac=0.2 y.mesh loc=5.00 spac=0.4 启动仿真器： 生成网格： 肖特基二极管的例子 * Silvaco学习 * region num=1 silicon electr name=anode x.min=5 length=2 electr name=cathode bot #.... N-epi doping doping n.type conc=5.e16 uniform #.... Guardring doping doping p.type conc=1e19 x.min=0 x.max=3 junc=1 rat=0.6 gauss doping p.type conc=1e19 x.min=9 x.max=12 junc=1 rat=0.6 gauss #.... N+ doping doping n.type conc=1e20 x.min=0 x.max=12 y.top=2 y.bottom=5 uniform save outf=diodeex01_0.str tonyplot diodeex01_0.str -set diodeex01_0.set 定义区域： 定义电极： 定义掺杂： 保存和显 示结构： 肖特基二极管的例子 * Silvaco学习 * model conmob fldmob srh auger bgn contact name=anode workf=4.97 solve init method newton log outfile=diodeex01.log solve vanode=0.05 vstep=0.05 vfinal=1 name=anode tonyplot diodeex01.log -set diodeex01_log.set quit 使用的物理模型： 定义接触特性： 计算初始化： 计算方法： 结果存为日志文件： 施加电压： 显示正向IV特性： 肖特基二极管的例子 * Silvaco学习 * 结构 正向IV特性 下一讲的安排 器件仿真的结构生成 使用ATLAS语法生成结构 DevEdit编辑得到结构 * Silvaco学习 * 谢谢！ * * Silvaco学习 交流时间 * * Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco学习 Silvaco TCAD 器件仿真（一） Tang shaohua, SCU