第53章SAW传感器.pptVIP

5.3 声表面波传感器 声表面波器件 863计划新材料技术领域2008年度，专题四、光电信息与特种功能材料专题，确定的五个方向： 高功率掺铥光纤激光器及其关键部件 基于量子阱激光器的气体检测系统关键技术 微光电机械系统（MOEMS）可调谐光通信器件关键技术及应用 高频声表面波关键材料与应用研究 片式热敏材料及热敏电阻元件制备技术 一.技术基础 1.基本概念 ①声表面波 ： Surface Acoustic Wave 简写为SAW ②优点： 2.声表面波的类型 ①瑞利波 ②乐甫波 其粒子运动方向平行于表面且垂直于传播方向。Love波是一种色散波，其波速与频率有关，它是一种可应用于液相检测的波。 ③拉姆波 拉姆波(也称为曲线声板波)是一种比较特殊的波振动形式，它存在于厚度为几个波长的薄板中。粒子运动和瑞利波相似。 实际应用中拉姆波的频率一般在超高频或微波段，波长在10-8～10-6范围 二.声表面波叉指换能器（IDT） 1.叉指换能器结构参数 ①指对数N ②金属指条的宽度a ③半周期长度L ④孔径──指条的重叠长度W ⑤相邻指条的间隙宽度b 2.IDT的种类 ①W为常数，a为L/2的叉指换能器为孔径均匀叉指换能器； ②孔径是时间函数W（t）的换能器称为振幅加权换能器； ③W为常数，L不是常数的换能器称为相位加权换能器； ④L不是常数，W也不是常数的叉指换能器为双变迹叉指换能器。 3.IDT的性能参数 ①工作频率 ②带宽 ③IDT的加权 指长的重叠长度加权 抽指加权 相位加权 电容加权 2.叉指换能器的工作原理 3.叉指换能器的基本特性 A.中心工作频率 λ=T=V/f0 式中 V——材料的表面波声速 f0 —— SAW频率，与外加电场同频 当指宽a与间隔b相等时，T＝4a，则工作频率f0为： f0 =V/4a B．带宽 中心频率一定时，带宽取决于IDT指条对数N。对于均匀，即等指宽、等间隔的叉指换能器，带宽可简单地表示为： 式中：N为叉指的对数；f0为SAW的工作频率。 4.SAW振荡器基片 ⑴类型 延迟线型 谐振型 延迟线型 谐振型 ⑵基底材料（压电材料、压电陶瓷和压电薄膜 ） 5.应用 声表面波压力传感器 声表面波加速度传感器 声表面波陀螺仪 气敏传感器 无源无线传感系统 例：无源无线传感器 SAW RFID无芯片电子标签系统（Chipless） * 高 ─ 75 6 3992 128°YZ 高 1.07 94 4.5 3488 YZ 铌酸锂 适中 ─ 64 1.54 3394 167°YZ 适中 1.14 35 0.68 3230 YZ 钽酸锂 低 3.1 0 0.14 3158 ST?X 低 2.6 ?24 0.23 3159 YX 石英 价格 频率为1GHz的衰减 温度系数（ppm/℃） 机电耦合系数(%) 速度（m/s） 切向 材料 *