高能束表面改性技术2.pptVIP

9.2 离子束表面改性 离子注入基本原理 在离子注入机中把各种所需的离子加速成具有几万甚至百万电子伏特能量的载能束，并注入固体材料表面，形成特殊物理、化学或力学性能表面改性层的过程。 9.2 离子束表面改性 离子与工件表面原子电子发生以下过程： 电子碰撞； 核碰撞； 离子与工件内原子作电荷交换。 9.2 离子束表面改性 离子注入的改性机理 提高材料表面硬度、耐磨性和疲劳强度； 提高材料表面耐腐蚀性能； 提高材料抗氧化性能。 9.2 离子束表面改性 离子注入提高材料表面硬度、耐磨性的原因： 固溶强化效应：间隙原子和置换原子的固溶强化； 弥散强化效应：注入非金属元素形成各种氮化物、碳化物、硼化物等弥散相； 晶格损伤效应：碰撞产生大量晶格损伤和位错，以及位错钉扎； 晶粒细化效应：离子轰击导致晶粒细化，阻碍位错运动； 晶格变换效应：晶体结构转换，形成新材料。 9.2 离子束表面改性 离子注入提高材料疲劳强度的原因： 高损伤缺陷阻止了位错的移动； 喷丸强化作用：更多离子加入近表面区域，使表面产生压应力，抑制裂纹的产生。 9.2 离子束表面改性 离子注入提高材料表面耐腐蚀性能的原因： 形成稳定致密的氧化膜； 形成表面合金、亚稳相合金、非晶态合金。 9.2 离子束表面改性 离子注入提高材料抗氧化性能的原因： 注入元素在晶界富集，阻碍了氧的扩散； 形成致密的氧化阻挡层。 9.2 离子束表面改性 离子注入的优点： 周期表上的任何元素，都可注入任何基体材料； 可得到用其它方法得不到的新合金相； 离子注入层与基体结合牢固； 对注入元素的数量可控性、重复性好 ； 工件表面无形变、无氧化； 通过磁分析器分析注入束，可获得纯的离子束流； 离子注入的直进性特别适宜集成电路微细加工的技术要求。 9.2 离子束表面改性 离子注入的缺点： 对金属离子的注入还受到较大的局限； 注入层薄； 一些特殊物理问题需要解决，如溅射、升温、腐蚀等； 设备造价高。 9.2 离子束表面改性 离子注入机的种类 按能量大小分：低能注入机、中能注入机、高能注入机； 按束流强度大小分：低束流、中束流、强束流； 按束流状态分：稳流注入机和脉冲注入机； 按类型分：质量分析注入机、工业用氮注入机、等离子源离子注入机。 9.2 离子束表面改性 等离子体浸没离子注入（PIII） 待处理工件被浸泡在等离子体中，然后在工件上加高的负脉冲电位，在工件周围形成正离子阵鞘层，正离子加速射向工件表面。 9.2 离子束表面改性 9.2 离子束表面改性 9.2 离子束表面改性 9.3 电子束表面改性 电子束表面改性原理 当高速电子束照射到金属表面时，电子能深入金属表面一定深度，与基体金属的原子核及电子发生相互作用，从而使被处理金属的表层温度迅速升高。 9.3 电子束表面改性 电子束改性的方法 电子束表面硬化 电子束表面熔凝 电子束表面合金化 电子束熔覆 电子束表面非晶化 9.3 电子束表面改性 电子束表面硬化 利用电子束轰击金属工件表面，使表面被加热到相变温度以上，高速冷却产生马氏体相变强化。比较适合于碳钢、中碳低合金钢、铸铁等材料的表面强化。 9.3 电子束表面改性 9.3 电子束表面改性 电子束表面熔凝 用高能量密度的电子束轰击工件表面，使表面产生局部的重新熔化，并在冷基体的作用下快速凝固，从而使组织细化，实现硬度和韧性的最佳结合。最适用于铸铁、高碳高合金钢。 9.3 电子束表面改性 电子束表面合金化 预先将具有特殊性能的合金粉末涂敷在基体金属表面，再用电子束轰击加热，使特殊的合金粉末熔融在基体材料的表面上，从而在工件表面形成一层具有耐磨耐蚀耐热等性能的新合金表面层。 9.3 电子束表面改性 电子束熔覆 按需要在基体材料表面预先涂敷一层特殊性能的合金粉，并用电子束加热将其熔化，在基体表面形成具有某些特性的覆层。 9.3 电子束表面改性 9.3 电子束表面改性 电子束表面非晶化 利用聚焦的电子束高能量密度以及作用时间短的特点，使工件表面在极短的时间内迅速形成小熔池，并在基体与熔化的表层间产生很大的温度梯度，使表层的冷却速度高达104~108℃/s。致使表层几乎保留了熔化时液态金属的均匀性，经高速冷却，在材料的表面形成良好的非晶层。 9.3 电子束表面改性 电子束改性的特点 加热、冷却速度快； 成本低； 设备结构简单； 能量控制简便； 电子束与金属表面作用耦合性好，能量利用率、高； 工件不被污染，质量好； 电子束加热的深度和尺寸范围比激光束大； 思考题 激光淬火、激光熔凝、激光熔覆以及激光表面合金化有何相同处和不同处？ 什么是离子注入？有何特点？等离子体浸没离子注入的工作原理是什么？ 电子束表面改性工艺有哪些？电子束表面改性的特点是什么？ * 图9-2 离子注入装置简图 图9-3 全方位