(王启亮)高速生长CVD金刚石单晶.docVIP

高速生长CVD金刚石单晶及应用 王启亮，吕宪义，成绍恒，张晴，李红东*，邹广田 吉林大学超硬材料国家重点实验室，长春 130012 Email: hdli@jlu.edu.cn 摘要：CVD金采用微波等离子体化学气相沉积（CVD）方法，同质外延高速生长金刚石单晶，通过改变反应腔压强、反应气氛（引入氮气N2、二氧化碳CO2、氧气O2）等，利用高温等离子体进行退火，可使金刚石单晶的颜色有了很大的改善。我们研制了CVD金刚石单晶刀具，用于金属材料的曲面镜面加工。关键词：高速生长；CVD；金刚石单晶；退火High-rate Growth of CVD Single-crystal Diamond and Application WANG Qi-liang, LV Xian-yi, CHENG Shao-heng, ZHANG-Qing, LI Hong-dong*, ZOU Guang-tian State Key Laboratory of Superhard Materials, Jilin University, Changchun 130012 Abstract: In this paper, we briefly review the resent great improvements achieved for the high rate growth and appli