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XPS ??XPS分析方法 定量分析 -一级原理模型 设f0为常数，有效接收面积为A，光电子平均出射方向与样品表面夹角为?，入射光和出射光电子方向的夹角为?，则可得到以下特定条件下谱线强度的表达式。 半无限厚原子清洁表面样品： XPS ??XPS分析方法 定量分析 -一级原理模型 厚度为t的原子清洁表面样品： 半无限厚衬底上有一厚度为t的均匀覆盖层样品 衬 底： 覆盖层： XPS ??XPS分析方法 定量分析 -一级原理模型 半无限衬底表面吸附少量气体，其覆盖度1。 衬 底： 覆盖层： ?‘覆盖层内的电子逸出深度，?’为覆盖层的原子平均密度 。 XPS ??XPS分析方法 定量分析 -元素灵敏度因子法 同AES中的灵敏度因子法相似。区别在于AES定量分析中一般以谱线相对高度计算，同时对背散射因子等作出校正； XPS中一般以谱峰面积计算，不计入背散射效应。 XPS分析中，定量分析的方法与AES的定量方法基本相似，如标样法，校正曲线法等，大同小异。 XPS ??XPS分析方法 小面积XPS分析 小面积XPS是近几年出现的一种新型技术。由于X射线源产生的X射线的线度小至0.01 mm左右，使XPS的空间分辨能力大大增加，使得XPS也可以成像，并有利于深度剖面分析。 XPS ??XPS分析总结 基本原理：光电效应 基本组成：真空室、X射线源、电子能量