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第一章 电子与物质的相互作用 1. 电子显微分析 材料的理化性质与材料的内部显微结构(晶体结构、微观形貌、化学成分)有关。材料研究的需要发展了多种电子光学仪器，帮助人们更深入地了解电子与物质的相互作用。反过来，电子光学仪器的完善与发展也是与人们对电子与物质相互作用物理过程的充分理解分不开的，只有充分了解该作用过程中产生的各种信息，才能更好地使用并发展新的仪器和分析方法。 2. 电子与物质相互作用 一束电子束打到试样后，电子束穿过薄膜试样或从试样表面掠射而过，电子的轨迹要发生变化。这种变化决定于电子与物质的相互作用，即决定于物质的原子核及核外电子对电子的作用。其结果将以不同的信号反映出来。使用不同的电子光学仪器将这些信息加以搜集、整理和分析，就可得出材料的微观相貌、结构和成分等信息。这就是电子显微分析。电子与物质相互作用涉及的面很广，在此只简单介绍在透射电镜、扫描电镜及电子探针等常用的电子显微分析仪器中经常出现的物理过程。 3. 电子的弹性散射 当一束电子入射到样品上，电子和样品物质的原子核及核外电子发生相互作用，使入射电子的能量和方向改变，有时还会发生电子消失、重新发射或产生别种粒子、改变物质形态等现象，这些现象统称为电子的散射。根据散射过程中能量是否发生变化，又可进一步分为弹性散射和非弹性散射。弹性散射是电子衍射和电子衍衬像的基础；非弹性散射将伴随能量