E6500紧凑型高真空蒸镀仪操作过程.docVIP

E6500紧凑型高真空蒸镀仪使用及维护规程 1.技术参数： 1.1真空系统：旋转机械泵和涡轮分子泵 1.2操作真空范围：10-2～10-5MBAR 1.3电源：240v～13A 频率：50HZ 1.4样品台尺寸：90mmX50mm 1.5适用碳棒规格：φ6mm 1.6碳蒸发：(电极开关位置1)10V 100A 金属蒸发：(电极开关位置2)20V 50A 2.操作方法： 2.1打开蒸镀仪总电源，确认机械泵处于开机状态。 2.2装载样品： 2.2.1腔室门打开时，将碳棒装入碳棒架。左侧夹入削好的碳棒，要求碳棒尖能达到蒸发所需的尖度；右侧夹入的碳棒要求碳棒左端用砂纸打平，与左侧碳棒尖完全接触。 2.2.2若使用前腔室处于真空保护状态，则打开氮气阀门至阀门左表示数为0.035，打开气路阀门于OPEN状态，放气至腔室门打开，关闭气路。若使用前腔室未处于真空保护状态，须于OPEN状态下用氮气对腔室进行15～30秒的清洗。 2.2.3采用碳源蒸镀时，将样品放入碳棒篜镀源正下方。采用金属源蒸镀时，将可变角样品台向右旋转45。。 2.3腔室抽真空 将VACUUM CONTROL旋至PUMP位置开始抽真空，当真空度达 到5X10－4以下时可以进行喷碳。禁止在真空度10－4以上进行喷碳。 2.4碳棒除气 2.4.1将喷镀档由0旋至1档，将蒸镀方式置于COAT档，电压调至2-3，观察碳棒尖端暗红，电流约为20A，完成第一次除气。 2.4.2每次除气过程尽量小于5秒，除气后腔室真空度下降，待腔室真空度重新上升后可进行第二次除气。 2.5喷碳 将喷镀档调至1档，电压调至7或8，蒸镀方式选择PULSE，按1～2秒后释放，停止1-2分钟，待真空度恢复后再反复操作直至要求厚度。 2.6喷金 将喷镀档调至2档，按下蒸镀COAT档，调节电压至金属蒸发（此时真空度明显下降），蒸镀小于5秒后停止1-2分钟，反复操作至要求厚度。 2.7破真空 将喷镀档调至0档，将VACUUM CONTROL旋至VENT位置,打开 气路阀门至OPEN状态，涡轮泵逐渐停止，并在一段延迟后系 统自动放气，打开门取出样品。 2.8腔室在适度真空下关机 关闭气路，将VACUUM CONTROL旋至PUMP位置开始抽真空，当CHAMBER PRESSURE示数回零即可将VACUUM CONTROL旋至VENT,关闭仪器总开关。 3.操作注意事项： 3.1由于空气湿度大造成抽真空困难时，可打开机械泵上的气震阀（黑色），运行半小时将油中的水汽带出（可看到气泡的震动）。 3.2进气阀阀表降至5MPA时需更换新的氮气瓶。 3.3如果5小时内腔室真空度还没有达到10-5 mbar量级，则说明真空系统可能有泄漏，这样就需要在安装腔室夹具前找出并排除泄漏。 4.使用安全规定： 4.1氮气减压阀出气压力要控制在0.035～0.05MPA，过大会造成腔 体后部进气管崩离进气口，泄露氮气。 4.2蒸镀方式选用PUSLE时，注意观察电流不能大于100A。 5.维护保养规定： 5.1每月检查机械泵液面，工作时液面低于min时要及时加油。 机械泵油由黄变黑时需更换（通常半年～一年），加油时不开泵。 5.2经常用沾有异丙醇或酒精的纺织品清洁腔体四壁和腔室门上的O型密封圈，确保清洁、干燥、无灰尘。 5.3设备使用完毕进行设备使用登记。