マイクロ波生成プラズマの 分測定.pptVIP

マイクロ波生成プラズマの分光測定 環境計測　高橋 順三 研究目的 多価イオンを生成できるイオン源製作のため ↓ マイクロ波でプラズマを生成 ↓ プラズマ中の励起原子やイオン種を 可視光分光法を用いて測定 使用した機器 分光器：NIKON G-250,回折格子 1200 本/mm 光電子増倍管:HAMAMATSU　H6780‐00 プラスチック光ファイバー:TAKEX　FTSV73BC,レンズ FA511A ステッピングモーター:オリエンタルモーター PH566-A ドライバー回路:SD5114P3,SG8030J 装置全体 コントロール回路製作の目的 分光器の波長走査の自動化 MCSのチャンネル走査と分光器の波長走査の同期 波長走査のタイミング制御 波長?チャンネル走査中の計数停止 コントロール回路上のタイミングチャート 測定可能範囲 上限 測定系の感度 回折格子：回折光効率 光電子増倍管：分光感度特性 プラスチック光ファイバ－：透過率 ３つの要素の積 測定可能範囲 下限 水銀灯 蛍光灯）を測定 ↓ Hgの 365nmのピークを確認 334nmのピークは見えなかった。 ↓ 下限350nm 測定条件 Heガス圧 0.68 Torr 吸収電力 40 W 分光器の入射出射スリット 幅 0.5 mm 長さ 2 mm 測定波長間隔 0.25 nm 測定波長範囲 350