《半导体物理学》semi_phys10.ppt

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3.4杂质半导体的载流子浓度 一、杂质能级上的电子和空穴 电子(或空穴)占据杂质能级的概率不能用费米分布函数描述。杂质能级只能容纳任意自旋的一个电子(或空穴)。 可以证明: 电子占据施主能级的概率 空穴占据受主能级的概率 施主能级上的电子浓度 受主能级上的空穴浓度 电离施主杂质浓度 电离受主杂质浓度 二、n型半导体的载流子浓度 电中性方程(或条件)(半导体物理三大方程之一) 1.低温弱电离区 相关表达式代入后,可得 2.中间电离区 不可近似 温度继续升高,当 , 当 , ,施主杂质1/3电离。可直接求解方程。 3.强电离区 电中性条件 代入相关公式,可求得 不同掺杂浓度、不同温度下费米能级的变化趋势 掺杂浓度一定,T 0K时,n(p)型半导体费米能级位于导带底(价带顶)和施主(受主)能级中央,随温度升高,费米能级先上升(下降)后下降(上升)直至禁带中央。 T一定时,随施主(受主)浓度增加,费米能级向导带底(价带顶)靠近。 施主杂质全部电离后 室温下施主杂质全部电离时杂质浓度的上限 令 则 可以看出: 表示未电离施主占施主杂质数的百分比,取决于温度、电离能与杂质浓度。杂质浓度越高,达到全部电离的温度越高 。 例:掺磷的n型硅,室温时 磷杂质全部电离(90%)的浓度上限ND约为 ;考虑到以杂质电离为主,杂质浓度应高于本征载流子浓度一个数量级,全部电离的杂质浓度范围为1011~ 还可利用下式计算杂质全部电离时的温度。 4.过渡区 电中性条件 根据本征激发时 得到位移方程 以及 过渡区载流子浓度 解得 当 当 5.高温本征激发区 电中性条件 实际的本征半导体与理想半导体的区别 本征半导体的载流子主要依靠本征激发提供,杂质与缺陷的贡献小可忽略 理想半导体中无杂质与缺陷 三、p型半导体的载流子浓度 低温弱电离区 强电离区(饱和区) 过渡区 四、少数载流子浓度(强电离情况下,随T升高,少子浓度增加) n型半导体 p型半导体 小结:非简并半导体热平衡时的载流子浓度 EF费米能级是电子填充水平的标志 一个系统中的费米能级总是保持为一个相等的常数。 考虑两个特定的材料系统,热平衡状态下分别具有各自的费米能级,当二者紧密接触之后(完成价键对接),形成整个的统一系统,电子将首先填充最低的能态,因此电子将从费米能级高的材料中流向费米能级低的材料,直到二者具有统一的费米能级。 电中性条件 掺杂半导体的载流子浓度与温度的关系 费米能级与掺杂浓度、温度的关系 * * 分析问题思路 说明:在一定温度下,确定的半导体材料及杂质浓度,要精确求解费米能级有较大难度。 为方便计算,按温度分区间进行讨论:低温弱电离区、中间电离区、强电离区、过渡区、本征激发区(不同温度区间取不同的近似,根据已知条件可精确计算的不能取近似) 解得 玻尔兹曼近似成立 常温下完全电离的非简并半导体:n0 ND(n型半导体),p0 NA(p型半导体) 费米能级位置 非简并情况下各温度区间均适用 非简并n型半导体 EF Ec n0 Nd EFi n0 Nd ni 非简并p型半导体 EF EV p0 Na Nv EF EFi p0 Na ni 强电离时 温度一定时:费米能级上移,导带和价带的电子浓度均增加;费米能级下移,导带和价带的电子浓度均减少。 掺杂浓度一定时:处于强电离区(饱和区),温度上升,费米能级向禁带中央靠拢,多子浓度不变,少子浓度增加。 热平衡系统有统一的费米能级

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