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微细切削技术 引言 偏向于加工平面件，不能进行三维加工 加工材料单一 加工材料表面质量低，精度低 加工成本高，加工速度慢 微切削加工技术：是一种由传统切削技术衍生出来的微细切削加工方法 ，但并不是简单的宏观技术微观化。 加工尺度一般在微米和亚微米之间 加工精度可以有效控制，加工材料广泛，表面质量好，可以达到批量生产 * * 引言和基本概念 1 关键技术 2 国内外现状 3 总结 4 基本内容 MEMS 技术 刻蚀技术 薄膜技术 LIGA及准 LIGA技术 引言 基本概念 典型产品 关键技术 微切削机床 微切削刀具 微切削机理 安全防 护体系 支撑材料 高性能刀 具夹持系统 高效冷 却系统 控制系统 高速进 给系统 高速精密 主轴系统 微细切 削机床 微细切削机床 *
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