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2017-06-07 发布于重庆
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实验2扩散硅压阻式压力传感器实验模块

实验二扩散硅压阻式压力传感器实验模块（一）扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验 2.1实验目的： 2.1.1、了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。 2.2实验设备和元件： 2.2.1实验设备：2号扩散硅压阻式压力传感器实验模块、14号交直流、全桥、测量、差动放大实验模块、数显单元20V、直流稳压源+5V、+12V、-12V电源。图2-2 2.3实验内容： 2.3.1、按图2-2把2号扩散硅压阻式压力传感器实验模块VS端连接+5V电压，GND端连电源地GND。V0+、VO-输出连到14号模块一起输入端的VIN+、VIN-，具体连线见图2-2，连通电源。 2.3.2、将2号扩散硅压阻式压力传感器实验模块的P1、P2加压旋钮旋出，使压力表均指示为0。 2.3.3、放大器输出VO2和GND分别接到电源模块数显表的V、GND孔。将显示表选择开关拨到20V档，调节W5、W6使数显表显示为零（若调不到零请旋W3、W4改变放大倍数）。 2.3.4、旋动P1旋钮加压，记下输出电压值，反之松开P1使压力表为0，旋动P2旋钮加压，记下输出电压值。 2.4实验结果与讨论33 P（Kpa） 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 V O2 V P1 0.68 0.97 1.32 1.80 1.96 2.39 2.65 2.91 - - V O2 V P2 -0.70 -0.98 -1.36 -1.68 -1.97 -2.33 -2.60 -2.90 - - （二）扩散硅压阻式压力传感器的差压测量实验 2.1实验目的： 2.1.1、了解利用压阻式压力传感器进行差压测量的方法。 2.2实验设备和元件： 2.2.1实验设备：2号扩散硅压阻式压力传感器实验模块、14号交直流、全桥、测量、差动放大实验模块、数显单元20V、直流稳压源+5V、+12V、-12V电源。 2.3实验内容： 2.3.1、压阻式压力传感器的硅膜片受到两个压力P1和P2作用时由于它们对膜片产生的应力正好相反，因此作用在压力膜片上是△P P1-P2，从而可以进行差压测量。 2.4实验结果与讨论 2.4.1、详细记录实验结果。 V O2 V 0.68 0.97 1.32 1.80 1.96 2.39 2.65 2.91 P1（Kpa） 10 20 30 40 50 60 70 80 P2（Kpa） 13 23 33 42 54 64 72 82 2.4.2两个压力表引起误差原因分析： △P 3左右，可见误差比较固定，观察发现P2较P1松动，是属于系统误差。 2.4.3、简要分析实验中出现的问题及处理方法。首先P2继续增压的时候，发现其不能增加到预期的100Kpa，最高只能在85Kpa，只能记录到此。 P2较松动，这对结果会有影响。结果发现，确实如此。