03粒子(束)与的相互作用探究.ppt

第一章 总论 (之三) 粒子（束）与材料的相互作用 主要内容 *第一节 电子束与材料的相互作用 散射、电子与固体作用产生的信号#、电子激发产生的其他现象(自学) 第二节 离子束与材料的相互作用 散射、溅射与二次离子 第一节 电子束与材料的相互作用 入射电子（又称为初始或一次电子）照射固体时与固体中粒子的相互作用包括： （1）入射电子的散射；与光子散射不同 （2）入射电子对固体的激发； （3）受激发粒子在固体中的传播。 一、散射 在固体原子的库仑电场作用下，入射电子方向将发生改变，这种现象称为（电子）散射。 有弹性散射和非弹性散射之分。 1. 原子核对入射电子的散射 散射损失的能量 散射角（2?）即散射电子运动方向与入射方向之间的夹角。 以100keV的电子为例： 小角度散射(2? 5o)，电子的能量损失在10-3～10-l eV的范围； 背散射电子(2? ≈π/2)，能量损失达到几个eV 因此，原子核对电子的散射一般情况下均可视为弹性散射 2. 核外电子对入射电子的散射 原子中核外电子对入射电子的散射作用是一种非弹性散射。 在非弹性散射过程中，入射电子所损失的能量部分转变为热，部分使物质产生各种激发现象（如，原子电离、自由载流子、二次电子、俄歇电子、特征X射线、特征能量损失电子、阴极发光、电子感生电导等）。这些激发现象称为电子激发。 3. 散射截面 入射电子被原子核散射时，散射角2?的大小与瞄准距离rn、原子核电荷Ze以及入射电子的加速电压V有关，其关系为 ?rn2叫做弹性散射截面，用?n表示。 当入射电子与核外电子作用时，散射角2?为 ?re2为核外电子的非弹性散射截面，用?e表示。 4. 电子吸收 指由于电子能量衰减而引起的强度（电子数）衰减。电子被吸收时所达到的深度称为最大穿入深度（R）。 入射电子在固体中传播时的能量损失曲线 （E0=1keV、3keV、5keV和8keV） 二、电子与固体作用产生的信号 1.电子与固体作用产生的信号 2.电子非弹性散射平均自由程和信息深度 3.电子能谱 1. 电子与固体作用产生的信号 图3-3 入射电子束与固体作用产生的发射现象 IX表示电子激发诱导的X射线辐射强度 ①连续的X射线 ②特征X射线 ③X射线荧光（二次特征X射线） 2. 电子非弹性散射平均自由程和信息深度 入射电子、二次电子和背散射电子在固体中传播时不断经受非弹性散射，相继两次非弹性散射之间电子所经过的平均路程称为电子非弹性散射平均自由程，用?e表示。 与材料的组成、结构以及入射电子的能量有关． 平均自由程 ?e 对单元素固体， 对于无机和有机固体材料，  式中：E-电子的能量(keV)；a-固体的单原子层厚度(nm)． 入射电子产生的各种信息的深度和广度范围 (a) 电子束散射区域形状(梨形作用体积) (b)重元素样品的电子束散射区域形状(半球形作用体积) 1-入射电子束；2-俄歇电子激发体积；3-样品表面；4-二次电子激发体积；5-背散射电子激发体积；6-初级X射线激发体积 二次电子 在各向同性的固体中，而且在没有外场的条件下，二次电子从它产生处向各个方向传播的几率相同． 二次电子强度按指数规律e-z/λe衰减，z是从表面垂直向体内测量的距离． 3. 电子能谱 图3-5 电子与固体作用产生的发射电子谱（示意图） 三、电子激发产生的其它现象（自学） 1.等离子体振荡 2.电声效应 3.电子感生电导 4.阴极荧光 回顾： 第二节 各类特征谱基础 原子光谱 分子光谱 光电子能谱 俄歇电子能谱 种类、产生机理、获得的样品信息 回顾 第三节 X射线的产生及其与物质的相互作用 X射线衍射分析、X射线荧光分析、X射线光电子能谱分析和X射线激发俄歇能谱分析等材料分析方法均以X射线为信号源。 一、X射线的产生与X射线谱 连续X射线谱、特征X射线谱 二、X射线与物质的相互作用 三、X射线的衰减 四、X射线的防护 回顾 *第一节 电子束与材料的相互作用 散射、电子与固体作用产生的信号#、电子激发产生的其他现象(自学) 第二节 离子束与材料的相互作用 散射、溅射与二次离子 1. 电子与固体作用产生的信号 图3-3 入射电子束与固体作用产生的发射现象 表3-1 电子与材料相互作用产生的信号及相应的分析方法 第二节 离子束与材料的相互作用 质量高、半径大使得离子与原子间碰撞的几率大大提高，动量和能量转移是离子与固体相互作用的重要特征。 一、散射 二、二次离子 一、散射 离子与固体原子的碰撞可以用台球间的碰撞来描述。 对碰撞过程的约束（来自电子的非弹性散射）可想像为在台球桌面上有