SilvacoTCAD工艺仿真1重点.ppt

Diffuse做氧化的例子 * Silvaco学习 * Diffuse time=30 temp=1000 f.o2=10 Diffuse time=30 temp=1200 dryo2 氧化时间30分钟，1200度，干氧。 氧化时间30分钟，1000度，氧气流速10sccm。 go athena Line x loc=0.0 spac=0.02 Line x loc=1.0 spac=0.10 Line y loc=0.0 spac=0.02 Line y loc=2.0 spac=0.20 init two.d Diffuse time=30 temp=1200 dryo2 tonyplot quit 干氧氧化的完整语法： 结果： 抽取特性 Deckbuild有内建的抽取功能，在ATHENA中某一步工艺之后抽取：材料厚度，结深，表面浓度，浓度分布，方块电阻等特性 由QUICKMOS和QUICKBIP可以得到一维时的器件特性，如阈值电压、一维结电容等等。 * * Silvaco学习 自动得到抽取语句 * Silvaco学习 * 抽取氧化层厚度 * Silvaco学习 * go athena Line x loc=0.0 spac=0.02 Line x loc=1.0 spac=0.10 Line y loc=0.0 spac=0.02 Line y loc=2.0 spac=0.20 init two.d Diffuse time=30 temp=1200 dryo2 extract name=“Tox” thickness \ oxide mat.occno=1 x.val=0 tonyplot 在菜单栏中自动生成抽取命令 时得到的语句： EXTRACT init infile=AIa02224 EXTRACT extract name=Tox thickness oxide mat.occno=1 x.val=0 WARNING: specified cutline may give inaccurate values resulting from proximity to structure edge, (min=0, max=1) Tox=1378.95 angstroms (0.137895 um) X.val=0 EXTRACT quit 输出窗口显示的结果： 注意警告信息 结构操作 命令structure 可以保存和导入结构，对结构做镜像或翻转 参数：infile,outfile,flip.y,mirror [left|right|top|bottom] 在仿真到一定步骤时可适当保存结构 * * Silvaco学习 go athena Line x loc=0.0 spac=0.02 Line x loc=1.0 spac=0.10 Line y loc=0.0 spac=0.02 Line y loc=2.0 spac=0.20 init two.d Diffuse time=30 temp=1200 dryo2 structure outfile=oxide.str extract name=Tox thickness \ oxide mat.occno=1 tonyplot Tonyplot显示 Tonyplot可以显示仿真得到的结构和数据 工具多（cutline,ruler,probe,movie…） 使用灵活（set,方便的Display（2D Mesh）） 可以导出数据 * * Silvaco学习 怎样组织工艺仿真？ 1、建立仿真网格 2、仿真初始化 3、工艺步骤 4、抽取特性 5、结构操作 6、Tonyplot显示 工艺仿真流程： * * Silvaco学习 工艺优化 寻找合适的工艺参数——工艺优化 工艺优化工具Optimizer 启动方式：CommandOptimizer… 可以对多个参数同时优化 优化不限于工艺 * * Silvaco学习 优化设置 * * Silvaco学习 优化设置界面， 误差范围，寻找次数 待优化的参数选择 * * Silvaco学习 go athena Line x loc=0.0 spac=0.02 Line x loc=1.0 spac=0.10 Line y loc=0.0 spac=0.02 Line y loc=2.0 spac=0.20 init two.d Diffuse time=30 temp=1200 dryo2 extract name=Tox thickness oxide \ mat.occno=1 x.val=0 tonyplot 框住待优化的工艺（此处是diffuse） 参数那一行，在Opti