白光干涉法测量金属箔厚度.docVIP

本文由wl献 pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。 第 % 卷第 =期增刊 = 仪 器 仪 表 学 报 % $ 年 ?月 $ 白光干涉法测量金属箔厚度 陈慧芳 严惠民 杭州 施柏煊 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 ! 摘要 $%’ #$ 利用白光作光源的干涉仪 ( +克服了单色相干光干 涉 相 位 不 确 定 的 缺 点 - 够 进 行 绝 对 测 量 . 同 时 - 光 光 源 的 稳 定 能 白 )* , 因此白光干涉测量法在近十几年得到了很大的发展 . 本文提出了用白光干涉原理测量金 性和低廉的价格也是此项技术的优势 属箔厚度的方法 经分析 测量的理论误差 /0 21 开辟了白光干涉法测量非透明物体厚度的新思路 . 关键词 白光干涉 无损检测 干涉谱 3 57 5 ; = =AB C 5 46 89 = ?@ ; D C : 8E8C 58 HCA4 CA 5 FG C ; 支 架 有 微 小 缝 隙 等 因 素 与 的影响 我们将测厚系统设计为上下两路干涉 . 测量分 两步进行 8 ! ’ 用 已 知 厚 度 薄 片 测 量 参 考 反 射 镜 #与 参 考 #利 反射镜 %在光路中的距离 . 在被测物位置放置一块已知厚度薄片! 厚度为 设 /’ 从 光 源 T发 出 的 一 束 白 光 在 分 束 镜 #处 分 为 两 1 测量原理 # 根 据 光 的 干 涉 原 理 2 3- 空 气 ! 射 率 1 # 中 传 在 折 4 ’ 播的两支光发生干涉 光程差 ! 6 ’ 5 / 与波长 ! ’ 7 及干涉 级数 ! 有这样的关系 8 2’ 干涉加强 8 - - 5 / 6 427 ! 24$ 9# 9% :’ 干涉相消 8 !’ # # @ 仪 器 仪 表 学 报 第# 卷 Q # 考 虑 到 以 下 几 个 方 面 9 :- 0 器 件 的 暗 电 流 特 性 = ; 输出信号中混杂着 噪 声= 光 源 具 有 一 定 的 发 射 光 谱 及 0对 不 同 波 长 光 信 号 的 响 应 率%综 合 上 面 几 点 我们对数据进行下面几个步骤的处理 ’( ! 去除 0 暗电流影响 中 从 0 输 出 的 信 号 67 ’ ( 包 含 着 暗 电 流 和 随 7* 8 机噪声两部分 % 首先先使 0 不接收任何光信号 此时 0 的输 即是暗电流% 当有光信号输入 0 时 从 出信号 67@’( 7* 8 图 ! 白光干涉法测金属箔厚度原理图 ! # $为分束镜 输出信号中减去背景噪声便得到输入的光谱信息8 6’( 0’( 0@’( 8.6 836 ’( # 去噪声 ’( A 束 一束入射到分束镜 # 另一束经反 射 镜 入 射 到 分 束 镜 $ 经过分束镜 #的透射光射向参考反射镜 ! 反射 % 光 则 到 达 已 知 薄 片 上 表 面 考 反 射 镜 !的 反 射 光 参 的 记 和 薄片上表面’ 面( 反射光 形 成 干 涉 录 干 涉 光 谱 ) 出 面 与 参 考 反 射 镜 之 间 的 相 对 距 离 * 解 同 ! ! 样方法解出已知薄片下表面 +与参考反射镜 #的相对 距离 *% 不难看出 参考反射镜 ! #之间的相对距离 , # 为/* .* , !/0 # 金属箔厚度的测量 ’( # ’( 1 随机噪声服从正态分布 均 值 为 @ 于 是 可 用 平 其 选取 B次测量的平均值 可使随机 均法去除随机噪声 % 噪声减小至原来 ! C BD ! 8 /6 8 /F B 8 E’( 6 ’( #’( /6 ’( 6 8. B ’( $ 去除光谱响应的影响 ’( G 光源的 发 射 光 谱 以 及 金 属 表 面 0 的光谱响应 反射率等因素都将对输出光谱包络产生影响 % 但这些 可以认为在实验室中是不变的 % 测量 因素都比较稳定 前 将每路干涉的反射镜部分遮住 让多色仪接收金属 表面的反射光 对光谱信号进行去噪声处理后 便得到 输出 实 验中诸多影响因素的合响应谱 H 8% 测量时 ’( 信 号 去 除 噪 声 后 除 以 H 8 得 到 了 真 正 的 干 涉 再 就 ’( 光谱 I’( 如图 $所示 8 M ( L8 ’K ’K (