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第2章 精密超精密加工技术概论Introduction of Precision Ultra precision Machining Technology 常用单位 1 m 103 mm 1 mm 103 μm（微米） 1 μm 103 nm（纳米） 1 nm 10 ?（埃） 1 ? 10-1 nm＝10-4μm＝10-7 mm＝10-10m 亚微米（1~10-2μm） 注：正常人头发直径约为 50~70 μm 2.1 精密加工技术的概念 超精密加工的含义 就“加工”这个词而言，应理解为一个很广泛的概念。超精密加工包含两个含义： 一是指向传统加工方法不易达到的精度界限挑战的加工，即高精度加工，如计算机磁盘及各种金属反射镜的超精密镜面加工； 二是向实现微细尺寸界限挑战的加工，即所谓微细加工技术（Micro-fabrication），如微电子电路制造中的电子束、光子束和离子束刻蚀加工以及离子注入、分子外延等工艺技术。 超精密加工的含义 就“精密”这个词而言，应作如下理解： 它是与生产力发展水平相关联的； 精密是相对的，在不同的历史时期，各有不同的理解； 精密超精密加工不仅涉及精度指标，还必须考虑到工件的形状特点和材料等因素。 精密、超精密加工的概念（1） 在所处的时代里，用一般的技术水平，即可以实现的精度称为普通加工。 必须用较高精度的加工机械、工具及高水平的加工技术才能达到的精度，属于精密加工。 并非可以用较高技术轻而易举地就可以达到，而是采用先进的技术经过探讨、研究、实验之后才能达到的精度，并且实现这一精度指标尚不能普及的加工技术称为超精密加工。 精密、超精密加工的概念（1） 超精密加工技术，不是指某一特定的加工方法，也不是指比某一给定的加工精度高一个量级的加工技术，而是指在机械加工领域中，某一个历史时期所能达到的最高加工精度的各种精密加工方法的总称。 每个时代都有该时代的加工精度界限，达到或突破本时代精度界限的高精度加工，可称为超精密加工。 加工精度的发展趋势 精密、超精密加工的概念（2） 另一种概念是从被加工部位发生破坏和去除材料大小的尺寸单位来划分各种加工。 物质是由原子组成的，从机械破坏的角度看，最小则是以原子级为单位 原子颗粒的大小为几埃 ?，1 ? 10-10m 的破坏。如果在加工中能以原子级为单位去除被加工材料，即是加工的极限，从这一角度来定义，可以把接近于加工极限的加工技术称为超精密加工。 材料去除单位与相关因素 去除材料的单位为10-3cm时将以龟裂的形式发生破坏；以微米 μm 级尺寸去除，则表现为位错；而以?级去除则为原子单位去除。 按去除尺寸单位分，可以把Ⅲ一Ⅳ区间称为普通精度，Ⅱ一Ⅲ区间为精密加工，I—Ⅱ区间为超精密加工。 精密、超精密加工的范畴 一般加工 加工精度10μm左右，表面粗糙度Ra 0.1μm 精密加工 加工精度0.1~1μm，表面粗糙度Ra 0.02~0.1μm 超精密加工 加工精度 0.1μm，表面粗糙度Ra 0.01μm 发展方向：加工精度 1nm 10-3μm ，表面粗糙度Ra 0.005μm的加工技术—纳米加工。 2.2 超精密加工方法及其应用 超精密加工的种类 超精密加工的材料及应用 各种产品与所要求的精度范围 超精密切削 借助于锋利的金刚石刀具对工件进行车削和铣削， 主要用于加工要求高表面质量和高形状精度的有色金属或非金属零件，如激光或红外的平面或非球面反射镜、磁盘、有色金属阀芯和多面棱镜等。 超精密车削可达到Ra 0.005μm的粗糙度和0.1μm的非球面形状精度。 超精密磨削 利用超细粒度砂轮磨削加工尺寸及形状精度很高的伺服阀、空气轴承主轴和陀螺仪超精密轴承等。可达到Ra 0.005μm的表面粗糙度和0.01μm的圆度。 利用微粉超硬磨料砂轮磨削光学玻璃、光学晶体、结构陶瓷、单晶硅、兰宝石等硬脆材料光滑表面，可达到表面粗糙度Ra 1nm 超精密研磨和抛光 包括机械研磨、机械化学研磨、研抛、非接触式浮动研磨、弹性发射加工等； 主要用于加工高表面质量和高平面度的集成电路芯片和光学平面及蓝宝石窗口等； 超精密研磨、抛光可达到5 ? 的表面粗糙度和λ/20 λ 632.8nm）的平面度。 超精密加工技术 超精密加工技术主要包括：超精密加工的机理，超精密加工的设备制造技术，超精密加工工具及刃磨技术，超精密测量技术和误差补偿技术，超精密加工工作环境条件。 工件材料与加工方法 2.3 精密超精密加工技术的重要性 发展高技术和新产品的技术基础 当代高技术的产品，都是靠当代最高的加工技术－超精密加工来实现的 。 超精密加工的直接效果是促进了各种产品技术性能的提高，也就相应地促进了机械、电子、航空、航天、激光核聚变等高技术