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中兴大学化学分析电子能谱仪
中興大學化學分析電子能譜儀Electron Spectroscope for Chemical Analysis ESCA
儀器說明
儀器驗收日期:2007年12月28日 開日期:2008年4月日 儀器經費來源:國科會、中興大學廠牌及型號:ULVAC-PHI, PHI 5000 VersaProbe / Scanning ESCA Microprobe重要功能:化學分析電子能譜儀,又名X射線光電子能譜儀 X-ray Photoelectron Spectroscope, XPS ,是設計來進行物質表面定性與定量的化學分析。ESCA的基本功能為分析 survey analysis 、 line scan 、化學成像 chemical imaging 與縱深分 depth profiling 。縱深分縱深分本設備的特殊功能包括
利用在陽極掃描之聚焦電子束產生掃描式微米尺寸X射線
產生掃描式X射線激發二次電子影像 scanning X-ray induced SXI secondary electron imaging
電中和系統採用冷陰極電子與低能量離子雙槍模組
配備C60離子槍
這些特點使本設備能夠進行
微區定位與分析
高效率自動化電中和作用
低損害之濺擊濺擊
重要規格:
X射線束最小直徑: 10 m 20/80% knife edge
微區分析能力:10 m時敏感度 4,000 cps 0.6 eV, Ag 3d5/2
能量解析度: 0.50 eV Ag3d5/2 ; 0.85 eV O C-O, PET C1s
試片操控:5軸,XY平移範圍±25 mm,旋轉360°,傾斜90°
試片定位:光學與SXI成像
超高真空腔體:搭配離子泵與鈦昇華泵,極限真空 6.7×10-8 Pa
電中和:自動化高電流冷陰極電子與低能量氬離子雙槍系統
資料擷取與處理:可進行資料存取、輸出、能譜之定性與定量分析
主要附件:
試片傳入腔 10-3 Pa
氬離子槍
C60離子槍服務項目全能譜圖survey
單元素能譜圖 multiplex
元素掃瞄元素影像掃瞄mapping
成份縱深分depth profiling
超薄膜角度解析分析 angle-resolved analysis
收費標準
項目 學術機構 非學術機構 基本費用 每小時 3000元 6000元 開電荷補償器 每小時加收 500元 500元 開C60離子槍 每小時加收 500元 500元 Ar離子轟擊 每分鐘 10元 20元 C60離子轟擊 每分鐘 50元 100元 數據圖譜 每張 50 元 100 元 *若以國科會貴儀使用費支付,其中10%需以現金支付。
*若因可歸責於委託者之緣故以致無法進行檢測,就已操作之時間收取操作費用
*操作未滿一小時以一小時計
*非學術機構委託樣品於收件日起兩週內完成分析
預約辦法
本儀器之預約採序號制。採用網際網路預約。
一個帳號一次僅能預約一個序號。待委託工作完畢後,方可再行預約。
每序號送測樣品數不得超過6個。
預約者應填妥申請書。填妥並請指導教授/主管簽核過之申請書請於預約完成後一週內以郵寄、傳真或親自送達實驗室。請於預定工作日前二日將待測樣品送達。若未按時送達,則取消該次預約。
取消預約應於預定工作日前三天通知。
樣本準備
樣品不得具有磁性、毒性或輻射性樣品須自行前處理,置入真空腔後,15分鐘內真空度能達×10-7 Pa。
粉體樣品需先片樣品高度不得超過 m, 單次委託所有樣本總面積不超過 ×25 mm。
樣本若不符規定,則該次預約將被取消。
注意事項
進行微區分析時,委託人必須親自到場指定受測區。
進行縱深分析樣品離子濺擊時間以一小時為限濺擊。
送測完成之樣品。
本實驗室不負責分析研判工作,可提供簡易諮詢。
由本儀器獲得之實驗數據,不得用於商業廣告或當作法院證據。
不開放自行操作。
儀器負責教授
張立信 副教授
電話: 04 座机电话号码 #406;傳真: 04 座机电话号码
電郵:.edu.tw
地址:40227台中市南區國光路250號中興大學M406室
儀器操作員
林以淳 小姐
電話:傳真:電郵:chchlin@dragon.nchu.edu.tw地址:40227台中市南區國光路250號中興大學MB10室
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