中兴大学化学分析电子能谱仪.doc

中興大學化學分析電子能譜儀Electron Spectroscope for Chemical Analysis ESCA 儀器說明 儀器驗收日期：2007年12月28日 開日期：2008年4月日 儀器經費來源：國科會、中興大學廠牌及型號：ULVAC-PHI, PHI 5000 VersaProbe / Scanning ESCA Microprobe重要功能：化學分析電子能譜儀，又名X射線光電子能譜儀 X-ray Photoelectron Spectroscope, XPS ，是設計來進行物質表面定性與定量的化學分析。ESCA的基本功能為分析 survey analysis 、 line scan 、化學成像 chemical imaging 與縱深分 depth profiling 。縱深分縱深分本設備的特殊功能包括 利用在陽極掃描之聚焦電子束產生掃描式微米尺寸X射線 產生掃描式X射線激發二次電子影像 scanning X-ray induced SXI secondary electron imaging 電中和系統採用冷陰極電子與低能量離子雙槍模組 配備C60離子槍 這些特點使本設備能夠進行 微區定位與分析 高效率自動化電中和作用 低損害之濺擊濺擊 重要規格： X射線束最小直徑： 10 m 20/80% knife edge 微區分析能力：10 m時敏感度 4,000 cps 0.6 eV, Ag 3d5/2 能量解析度： 0.50 eV Ag3d5/2 ； 0.85 eV O C-O, PET C1s 試片操控：5軸，XY平移範圍±25 mm，旋轉360°，傾斜90° 試片定位：光學與SXI成像 超高真空腔體：搭配離子泵與鈦昇華泵，極限真空 6.7×10-8 Pa 電中和：自動化高電流冷陰極電子與低能量氬離子雙槍系統 資料擷取與處理：可進行資料存取、輸出、能譜之定性與定量分析 主要附件： 試片傳入腔 10-3 Pa 氬離子槍 C60離子槍服務項目全能譜圖survey 單元素能譜圖 multiplex 元素掃瞄元素影像掃瞄mapping 成份縱深分depth profiling 超薄膜角度解析分析 angle-resolved analysis 收費標準 項目 學術機構 非學術機構 基本費用 每小時 3000元 6000元 開電荷補償器 每小時加收 500元 500元 開C60離子槍 每小時加收 500元 500元 Ar離子轟擊 每分鐘 10元 20元 C60離子轟擊 每分鐘 50元 100元 數據圖譜 每張 50 元 100 元 *若以國科會貴儀使用費支付，其中10%需以現金支付。 *若因可歸責於委託者之緣故以致無法進行檢測，就已操作之時間收取操作費用 *操作未滿一小時以一小時計 *非學術機構委託樣品於收件日起兩週內完成分析 預約辦法 本儀器之預約採序號制。採用網際網路預約。 一個帳號一次僅能預約一個序號。待委託工作完畢後，方可再行預約。 每序號送測樣品數不得超過6個。 預約者應填妥申請書。填妥並請指導教授／主管簽核過之申請書請於預約完成後一週內以郵寄、傳真或親自送達實驗室。請於預定工作日前二日將待測樣品送達。若未按時送達，則取消該次預約。 取消預約應於預定工作日前三天通知。 樣本準備 樣品不得具有磁性、毒性或輻射性樣品須自行前處理，置入真空腔後，15分鐘內真空度能達×10-7 Pa。 粉體樣品需先片樣品高度不得超過 m, 單次委託所有樣本總面積不超過 ×25 mm。 樣本若不符規定，則該次預約將被取消。 注意事項 進行微區分析時，委託人必須親自到場指定受測區。 進行縱深分析樣品離子濺擊時間以一小時為限濺擊。 送測完成之樣品。 本實驗室不負責分析研判工作，可提供簡易諮詢。 由本儀器獲得之實驗數據，不得用於商業廣告或當作法院證據。 不開放自行操作。 儀器負責教授 張立信 副教授 電話： 04 座机电话号码 #406；傳真： 04 座机电话号码 電郵：.edu.tw 地址：40227台中市南區國光路250號中興大學M406室 儀器操作員 林以淳 小姐 電話：傳真：電郵：chchlin@dragon.nchu.edu.tw地址：40227台中市南區國光路250號中興大學MB10室