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国立虎尾科技大学研究总中心场地设备租借管理规定970204修改
國立大學研究總中心場地設備通過有效管理研究總中心所屬場地設備 以下簡稱本場地設備 ，以符合使用者付費原則，特依「」訂定「國立大學研究總中心場地設備」 以下簡稱本 。場地設備指研究總中心所管理之場地設備。場地設備以提供所屬各從事研、需求為主並得視情況開放校內外單位使用。內各單位使用本場地設備應填寫申請表向總中心提出申請；校外單位借用時，本、校外單位借。請總中心場地，付費 不含電費 標準每坪每月應繳費用為元。請設備付費標準各單位各單位所繳費用依「國立大學場地設備」之規定理；各研究中心經總中心評議委員會決議裁撤者，空間應歸還該空間之管單位。。經通過後，實施，。研究總中心設備付費標準 300/人 200/人 300/hr 2 電鑄機 300/人 200/人 300/hr 3 電漿式去光阻機 300/人 200/人 300/hr 4 反應離子蝕刻機A 氧化） 500/人 200/人 900/hr 5 反應離子蝕刻機B 金屬 500/人 200/人 900/hr 6 金屬濺鍍機 500/人 200/人 500/hr 7 雙面式曝光對準機 500/人 200/人 500/hr 8 光阻旋轉塗佈及 旋轉顯影系統 300/人 200/人 500/hr 9 表面力量測儀 500/人 200/人 900/hr 10 氦鎘雷射 300/人 200/人 300/hr 11 化學氣相沉積 300/人 200/人 900/hr 12 原子力顯微鏡系統 300/人 200/人 900/hr +探針 13 掃描電子顯微鏡 300/人 200/人 500/hr 14 穿透式電子顯微鏡 500/人 200/人 1000/hr + 100/每張底片 15 奈米壓痕測試儀 500/人 200/人 900/hr
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