探针显微术於表面形貌演化与动态研究之介绍 .doc

掃描探針顯微術於表面形貌演化與動態研究之介紹 文／白偉武、林更青 摘要 本文簡述掃描式探針顯微術在研究表面形貌演化動力學方面的利用以及技術。經由一些有趣的例案研究，如表面原子台階之熱擾動漲落現象，二維奈米原子團之擴散、聚合，分子吸附引導之表面質流及重構，以及分子轉動等，希望能提供讀者對此領域有一初步的了解。 自1981年掃描式電子穿隧顯微術 STM [1] 和1986年原子力顯微術 AFM [2] 問世後，各類型的掃描探針式顯微術 SPM 已展現了多面向的應用潛能。要對這一個涵蓋範圍既廣且深的領域作一份詳盡徹底的介紹是超出筆者的能力範圍的。有許多傑出的科學評論與教科書籍，讀者可以查閱相關的基本背景知識或是更深入的學門資訊 [3-6]。本篇主要將概述掃描式顯微術在研究表面動態過程上的功能，介紹一部份進階的技術，並由筆者個人的研究成果中舉實際例證，也進一步討論由國外研究群得到的一些成果與將來可能的發展方向。 為了使一般讀者進入掃描探針式顯微鏡的微觀世界，簡單的技術討論是必要的。掃描顯微技術的重心是使用一個具有極高區域靈敏性的探針來偵測探針與表面的交互作用力，利用來自交互作用產生的物理性質參數做為回饋訊號，使探針能反映樣品表面的高低形貌。對掃描式電子穿隧顯微術而言，穿隧電流就是測量的回饋訊號。因為量子穿隧電流具有隨能障大小增加而有指數衰減的特性，此種技術能得到非常高的空間解析度；在縱直方向垂直表面約有 0.01 ?的解析度，而橫向平行表面則有 0.2 ?的解析度。當然STM也有力所未達的地方，STM的最大弱點在於缺少鑑別表面原子元素種類的功能，且僅適用於導電性較佳的樣品。發展原子力顯微術的最初目的即是單純的為了解析非導體的表面原子結構，然而此種基本概念卻衍生出一系列多功能的應用技術，遠遠超出了原始技術發明者的初始想像。原子力顯微術利用了多種形式的探針-基板交互作用力，包含了短距的斥力 – van der Waals 凡得瓦力，以及長距力如磁力與靜電力等。此種技術亦能適用於各種不同的實驗環境，不論是在液體、一般空氣環境、或是控制中的環境皆可運用。原子力顯微術基本上是種較遲緩的成像技術，主要是因為在於縱直方向的機械伺服控制，以其回饋訊號亦來自一個機械懸臂樑感應器。近來有能將縱橫壓電運動分離的設計與主動控制懸臂樑共振Q-value的新發展，使得快速原子力顯微術成像逐漸成為可行的量測，可以想見將來利用原子力顯微術來研究表面動態將能有更多的應用。 對研究靜態結構而言，SPM是極佳的工具，同時SPM也提供了研究表面動態演化過程的能力。這些動態演變可以是表面固有的性質，也可以是由探針導致的 如探針操控 。一般而言，這些動態過程只涉及原子或分子的運動，而非電子或聲子的動態表現。因為電子或聲子動態的時間尺度相當短 皮秒或飛秒級 ，這遠遠快於一般SPM所能成像的速度。對電子或聲子的動態演進，如果所量測的物理現象受到電子或聲子動力學的影響的話，SPM也能提供間接的估計 [7]。近來也有結合超快飛秒光譜技術與SPM，但這一部分的研究將超出了本文所要的討論範圍。利用SPM來研究表面動態是具有多面性功能的，這類技術提供了許多獨特的訊息，是許多一般傳統的分析技術所無法驗證或分析的。第一項功能是SPM可以展現單一分子或原子團的動態行徑。第二項功能是SPM可以直接研究表面特定物質的分佈情形，以及他們隨熱活化或化學能活化而演變的情形。 這些資訊在其他技術中大多都被平均化了，可是這一類的資訊相當重要，而其重要性可表現在相分離或是表面化學反應的動力學上。第三項功能是SPM的觀測可以顯示出表面缺陷的重要性，如點缺陷，表面原子或原子團，原子台階 step 或是異質原子。這些表面缺陷影響了表面動力學過程，而其重要性常被較傳統的技術所忽略。第四項功能是 SPM的微觀觀察可用以建立統計上整體的巨觀平均值，而同時可允許進一步微觀參數的量測。最後一點是SPM有無可比擬的原子解析度，因此雖然本質上SPM的量測是較緩慢的，在研究數個奈米的尺度範圍內的物理現象，這種技術是不可或缺的。而對較大範圍物理系統的研究，能夠即時同步成像的工具如掃描電子顯微鏡 SEM ，穿透式電子顯微鏡 TEM ，或低能電子顯微鏡 LEEM [8] 則較為合適。 表面絕非是完全靜態的，它會呈現原子在熱環境中具有的擾動性。一般而言，這些動態情形取決於樣品的溫度，表面會隨不同的熱力趨動而有不同的相態 phase ，而主要的動力過程則常由幾種不同的動力機制速率互相競爭而決定。因實驗設計的緣故，大多數的SPM研究是在室溫之下進行，然而越來越多的研究已在不同的溫度下完成，值得一提的是，即使在室溫的情況下，仍有一部分表面固有的動態過程是相當明顯的。舉例來說，在表面上通常有一定數目的表面原子在平衡態下持續做擴