机台菜单匹配规定.docVIP

标题： 设备菜单匹配管理规范 目的： 规定不同设备之间菜单匹配的程序，保证产品质量。 范围： 适用于生产线上用于相同工艺的不同设备之间的匹配。 参考： 无。 定义： 5.1关键工艺：对产品主要特性（PCM结果，成品率和可靠性等）有决定性影响的工艺步骤5.2 非关键工艺：除关键工艺以外的，对产品特性影响较小的工艺步骤5.3 设备匹配：为扩大产能和灵活性，在满足质量要求的情况下，将不同设备或腔体用于同一工艺的加工，工艺菜单内容可根据实际情况作一定限制的修改。 责任： 6.1 设备工程师负责设备硬件条件一致性的匹配调整工作6.2 工艺工程师负责设备的工艺匹配，并达到最终的要求6.3 TD负责对匹配项目完整性的审核，并对PCM的结果进行确认6.4 MS负责联系客户并且反馈成品率情况。 6.5 QA负责检查匹配工作是否按规定执行。 7.1 进行设备匹配，必须完成附录中所列的所有相关项目；完成后提交报告，经PCRB审核批准后执行7.2 对型号完全相同的设备之间的菜单匹配，按附表中的要求执行7.3 型号不同的设备之间的菜单匹配，。 7.4对已经匹配过的设备中，新菜单匹配按照下述原则进行。 1）单项匹配完成。 2）非关键工艺不进行分片直接release。 3）关键工艺在3批量或小批量（风险批）中选取1批进行分片，通知客户，确定验证 项目，如果合格则通过。 7.5 对于附录中需