3、第三章粒子束与材料的相互作用详解.ppt

材料现代分析方法 材料化工学院 第三章 粒子(束)与材料的相互作用 §3.1 电子束与材料的相互作用 §3.2 离子束与材料的相互作用(自学) §3.1 电子束与材料的相互作用 入射电子照射固体时，与固体中粒子相互作用，包括： (1)入射电子的散射； (2)入射电子对固体的激发； (3)受激发粒子在固体中的传播。 §3.1 电子束与材料的相互作用 §3.1 电子束与材料的相互作用 一、散射 二、电子与固体作用产生的信号 三、电子激发产生的其它现象（自学） 一、散射 1．弹性散射 电子与原子核碰撞产生的散射。 一、散射 2．非弹性散射 电子与原子中的电子碰撞产生的散射。 能量发生显著变化。 电子激发： 入射电子把部分能量转移给原子， 引起原子内部结构的变化， 产生各种激发现象。 一、散射 3．散射截面 (1)弹性散射： 2?=Ze/Vrn 或 rn=Ze/V(2?) ?n=? rn2 ?弹性散射截面。 (2)非弹性散射： 2?=e/Vre 或 re=e/V(2?) ?e=? re2 ?非弹性散射截面。 一、散射 4．电子吸收 指由于电子能量衰减而引起的强度(电子数)衰减，直至被固体吸收（束缚）。 最大穿入深度(R)： 电子被吸收时所达到的深度。 二、电子与固体作用产生的信号 1.电子与固体作用产生的信号 二、电子与固体作用产生的信号 二次电子流(IS)： 包括入射电子从固体中直接击出的原子核外电子， 和激发态原子退回基态时产生的电子发射(如俄歇电子)。 前者称为(真)二次电子，能量较低，强度按能量连续分布； 后者称为特征二次电子，能量取决于原子本身的电子结构。 当背散射电子返回到样品表面层，并具有足够的能量继续产生电子激发时，对二次电子发射也有贡献。 扫描电镜采用此信号。 二、电子与固体作用产生的信号 电子激发诱导x射线 (Ix)： 入射电子在原子实(即正离子)的库仑场中减速， 产生能量连续的x射线; 当电子激发使原子内层电离，外层电子跳到内层填充空穴， 这个跃迁过程伴随着能量的变化， 原子以发射特征x射线形式释放能量。 电子探针采用此信号。 二、电子与固体作用产生的信号 透射电子流(IT)： 当样品的厚度小于入射电子的平均穿入深度时， 有一部分入射电子穿过样品， 在样品的背面被接收或检测． 透射电镜采用此信号。 二、电子与固体作用 产生的信号 背散射电子流(IR)： 入射电子与固体作用后又离开固体的总电流。 主要由两部分组成： 一部分是被样品表面原子反射回来的入射电子； 另一部分是入射电子进入固体后通过散射连续改变前进方向，最后又从样品表面发射出去的入射电子。 前者一般没有能量损失，称为弹性背散射电子； 后者通常有能量损失，称为非弹性背散射电子。 背散射电子的最大信息深度约为电子最大穿入深度的一半。 扫描电镜、电子衍射等采用此信号。 二、电子与固体作用产生的信号 2．电子非弹性散射平均自由程和信息深度 (1)电子非弹性散射平均自由程?e: 相继两次非弹性散射之间， 电子所经过的平均路程。 ①单元素固体： ?e=538/E2+0.41?aE ②无机固体材料： ?e=2170/E2+0.72?aE (2)信息深度 二次电子沿表面法向向外传播时， 在不同纯金属固体逸出深度，近似等于?e 。 二、电子与固体作用产生的信号 3、电子能谱(自学) 电子发射强度按能量的分布。 通过收集记录背散射电子和二次电子得到。 (1) 低能端隆起峰由真二次电子构成 ?扫描电子显微镜表面形貌观测。 (2) 中间叠加小峰，对应俄歇电子峰或入射电子的特征能量损失峰。 ?俄歇电子能谱和电子能量损失谱。 (3)高能端峰是弹性背散射电子 ?电子衍射分析的基础。 §3.1 电子束与材料的相互作用 * 散射角(2θ): 散射电子运动方向与入射方向之间的夹角。 θ=π/2时，称为背散射。 库仑定律: F=kq1q2/r2 ΔEmaxE0 能量损失可以忽略。 E0 0、电子与固体的作用区 弹性散射和非弹性散射同时发生。 前者使电子偏离原来方向，引起电子在固体中扩散； 后者使电子能量逐渐减小，直至被固体吸收， 从而限制了电子在固体中的扩散范围， 这个范围称为电子与固体的