单晶寿命测定规程Ⅱ.docVIP

1.目的 通过正确的操作准确的测定载流子的真实寿命。 2.适用范围 ① 电阻率不小于0.1Ω·cm，厚度不大于1.5mm（最好为1mm以下）的单晶锭或样片。 ② 可测单晶少子寿命范围：100nS～5000mS。 3.使用设备·治工具 1、WT-1000型SEMILAB单晶寿命仪 4.使用材料 ①大于5％HF ②约70％HNO3 ③0.2～5％碘酒 5.环境要求 ①温度：10～35℃ ②湿度：＜80％ ③电源：220V, 50Hz（建议使用稳压源） 6.重要工艺参数 见操作步骤。 7.操作步骤 将主机和显示器电源与外部交流电源连接起来。 打开主机电源和显示器电源（显示器右下角），然后双击显示屏幕上的图标uPCD，最后显示测试画面。如下图： 样片处理： 3.1 目前使用的切片机有外圆切片机和内圆切片两种，所切的样片的厚度为2mm左右。 3.2 用混酸腐蚀10分钟（一次腐蚀的样片的数为6—8片），保证样片表面层去除量大于200μm.。 3.3 用腐蚀槽旁边的纯水冲洗30秒。（纯水的电导率为2MΩ.cm ） 3.4 然后用液流槽里的纯水液流3分钟。（纯水的电导率为10 MΩ.cm） 3.5 用10%的HF酸漂30秒 3.6 用腐蚀槽旁边的纯水冲洗30秒。 3.7 然后用液流槽里的纯水液流3分钟。 3.8 用压缩空气吹干 3.9 .加3%的碘酒测试寿命 样片测试：有如下二种方法测试，将根据客户关联比对情况来选择测试方法。 将处理后的样品置于样片袋中，将袋口打开，向里注射约1CM3碘酒并将碘酒均匀的涂在样片上，排除里面的气泡后闭合袋口。约1分钟后放置在仪器的载物台上开始准备测试。 将处理后的样片直接放置在仪器的载物台上。 载物台上的样片根据样片尺寸来准确定位。 5.1 载物台上有二排成扇型的小孔，由中心向边缘分布，分别测试3英寸；4英寸；5英寸；6英寸；8英寸； 12英寸样片。 5.2 小孔里有限位栓，可根据测试不同的样片来调整限位栓的位置。具体如下图所示： 样片位置确定后，点击测试画面左上角的“AUTOSET”，自动进入测试状态，几秒钟后屏幕上方显示测试结果即载流子寿命和衰减曲线。如下图所示： 把测试结果记录在《单晶寿命测试台帐Ⅱ》里。 测试完毕后同电脑一样关闭测试设备。 9）异常处理 测试结果出现为“NA”时请向上长反映。 10）安全事项 腐蚀时注意安全，防止酸溅到身上。 使用电源电压220V，避免触电危险。 11）记录表格 单晶寿命检测台帐Ⅱ。（见附录1） 附录1 单晶寿命检测台帐Ⅱ S/QRIN座机电话号码 样片编号 寿命值 测试时间 测试员 备 注 单晶寿命测定规程Ⅱ 上海申和热磁电子有限公司 受控状态 实施日期 2006年3月1日 适用 硅材料事业一部 受控 实施责任者 品质课 注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 作成 审核 批准 承认 变更内容： 汪金柱 李九州 冯文丽 文件编号 版/次 总3页 S/QW52IN82401-14 A/1 第3页 文件编写基本规定 上海申和热磁电子有限公司 受控状态 实施日期 2002年09月10 日 适用 质量、环境类文件 受控 实施责任者 管理者代表 注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 作成 审核 批准 承认 变更内容： 何锋 文件编号 版/次 总1页 S/QW座机电话号码1-02 A/0 第1页 中心测试点 （测试头所在位置） 限位栓 测12英寸 测8英寸 测6英寸 测5英寸 测4英寸 测3英寸