半导体器件模拟解析.pptVIP

半导体器件模拟 一、器件模拟技术和概念与发展简况 二、与基本半导体方程组相关物理参数 三、 半导体基本方程组的求解问题 (一)、基本方程组因变量的选取 (二)、基本方程的归一化? （三）基本方程的定义域及边界条件 (四)、基本方程的离散化 半导体器件模拟 一、器件模拟技术和概念与发展简况 器件模拟是根据器件的杂质分布剖面结构,利用器件模型,通过计算机模拟计算得到半导体器件终端特性。 器件模拟是一项模型的技术，器件的实际特性能利用这种模型从理论上予以模拟，因此它是一种可以在器件研制出来之前予示器件性能参数的重要技术。 半导体器件模拟 器件模拟有两种方法：一种是器件等效电路模拟法；另一种是器件物理模拟法。 (1)器件等效电路模拟法是依据半导体器件的输入、输出特性建立模型分析它们在电路中的作用，而不关心器件内部的微观机理，在电路模拟中常用这种方法。 (2)器件物理模拟法则从器件内部载流子的状态及运动出发，依据器件的几何结构及杂质分布，建立严格的物理模型及数学模型，运算得到器件的性能参数，这种方法能深刻理解器件内部的工作原理、能定量分析器件性能参数与设计参数之间的关系. 半导体器件模拟 器件物理模拟技术是70年代以后发展起来的，多年来相继出现了多种具体方法，主要有三种： ①