BQ-WI-QA-02AOI操作规范概要.doc

部门 姓名 日 期 编制 品质主管 审 核 品质部经理 批 准 副总经理 修 订 履 历 日期 版本 修 订 内 容 编制 审核 批准 初版发行 同一版本可以修订5次，超过5次升级版本 文件会签栏 分发单位 序号 份数 签字 分发单位 序号 份数 签字 品质部 01 采购部 10 生产部 02 文控中心 03 财务部 04 行政部 05 工程部 06 设备部 07 计划部 08 市场部 09 分发序号： 1.0目的及范围： 规范AOI测试(Automatic Optical Inspection)自动光学检测仪，提高产品的保证能力，降低生产成本，提高生产效率。 2.0 相关文件： IMPRESS Q AOI PC 中文操作手册 3.0 主要职责： 操作员：负责机器的操作，日常点检及点检记录表的填写，基板的接收和转序，问题板的修理和异常问题的及时反馈。 领班：负责日常生产进度的安排，异常问题的处理和反馈，协助测试员修理问题板以及监督员工要按工序内的要求操作。 工程师：负责工序内的生产管理，维护本工序的体系运作，并负责与各部门的沟通和协调，解决工序内的异常问题，确保工序能达成公司的产能、品质等方面的要求，带动工序全体员工共同进步发展。 维修部：负责机器的修理和保养。 4.0 设备、工具： IMPRESS Q 系列 自动光学检测机、VRS检修机、资料处理工作站、手术刀、放大镜、烧线机等 5.0 内容： 5.1 流程图： FAIL 5.2操作流程： 5.2.1打开机器总电源开关和显示器电源开关,数秒钟后用钥匙开机，机器将自动进行一系列的自身检测，如:AXES、U/D TABLE、 OPTICAL HEAD、MEASURING SYS、MEMORY TABLES、EIC等，机器自检通过后进行下一步操作。 5.2.2创建料号：在主菜单（MAIN.MENU）下选取1键（PROG）/6键（PANEL）/回车（ENTER）后，分别输入JOB：产品编号，LAYER：测试面所在层序（如L3、CS），STAGE：测试面的物理材质（如COPPER、DRILL等）。 5.2.3编辑测试参数： 5.2.3.1PROGRAM的参数设置：在PROG状态下选择2键（EDIT），而后分别对1键（GENERAL）、2键（LINES）、3键（HOLES）、4键（MASKL）、9 键（OPIONS）等相关参数进行设定。 5.2.3.2GENERAL中界面如下： 备注：1、可以用ENTER键或方向键移动光标。 2、光标指示处，按下SPACE空格键，即可进入对该参数的编辑状态，此时在该窗口下方会出现若干被选项，只需输入被选项的代码即可，当碰到数值时需手动输入数值。 5.2.3.3各参数的含义及设定： General(一般参数详解) 参数 详解 Type (形态) 即板子的形态如：信号层（signal）混合层（mixed） 钻孔层（drill） 大铜面（ground） Material 材料 Copper代表铜即我们现在所测的内外层板， 其中还有silver(底片) resist(干膜) Polarity 极性 Positive正片 Negative负片 Thickness 板厚 根据实际板厚设定参数，允许偏差±5mil 偏差太大时,影响对板检测精确度,(图像会有模糊现象) Nominal line正常线宽 输入实际正常线宽 Feature resolution 解晰度状态 其中: Manual：手动设定一般为设为1／10的线宽 Normal：正常线宽自动除以10和最小线距除以5二者机器会自动取最小值 High： 自动以最小线距除以15作为扫描解晰度 Very high：自动以最小线宽除以20作为扫描解晰度一般建议用Manual Pixel size 解析度 解晰度的大小影响它的分辨率如图： 1.0pixel 0.5pixel 解析度范围：0.2－0.5 一般用0.5 Sharpness毛边 Normal：蚀刻不良 V．Fine：蚀刻良好 Reference tol(tolerance) 母