4.2扫描探针显微技术解析.pptVIP

Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID “电子薄膜与集成器件”国家重点实验室. 8、纳米刻蚀及操纵 一般情况下，SPM在得到表面图像时不损伤表面 通过AFM施加“过度的力”或用STM施加“高电场”，可用于对 表面进行修饰 可以移动原子修饰表面等，在纳米科学以及纳米器件设计 与制作中，越来越被重视。 Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID “电子薄膜与集成器件”国家重点实验室. Si基底上的纳米刻蚀， 700nm 扫描 有机玻璃基底上的纳米刻蚀，1.6μm 扫描 混合分子晶体管， 1.5um 扫描 炭纳米管的推移（400x480nm）扫描 Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID “电子薄膜与集成器件”国家重点实验室. Cantilever Tips For Contact mode SiN For Dynamic mode Si Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID “电子薄膜与集成器件”国家重点实验室. Petri dish type solution cell Sealed type solution cell Electrochemical solution cell Phase Imaging Viscoelasticity measurement MFM EFM Current Imaging Nano Indentation Force curve measurement Nano Lithograph Environment Controlled Chamber （WET-SPM series） AFM 　Contact mode 　Dynamic mode 　LFM STM head SPM Series Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID “电子薄膜与集成器件”国家重点实验室. 2、造成AFM悬臂偏转的力： （1）范德瓦尔斯力 非接触区，吸引力； 达到化学键长（小于 1nm）， 作用力为零； 间隙进一步变小，排斥力； 范德瓦尔斯力可以平衡掉任何 进一步的力作用，只能使悬臂 弯曲。 （2）毛细力 水膜的存在 毛细力恒定 Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID “电子薄膜与集成器件”国家重点实验室. 3、两种类型的AFM： （1）接触式 恒高模式：扫描器高度恒定，悬臂偏转直接转化为形 貌数据。 恒力模式：悬臂偏转输入反馈电路，控制扫描器上下