《柔性衬底非晶硅太阳能电池的研究报告》.docVIP

柔性衬底非晶硅太阳能电池的研究报告 摘要：本文介绍了课题的研究背景、实验的核心设备-PECVD镀膜系统的工作原理、操作步骤及实验参数，分析了所得薄膜材料的谱线特征，得出在所设参数的条件下基本上能在所选不锈钢柔性衬底上制备出符合实验要求的本征层薄膜。 关键词：柔性衬底，非晶硅，太阳电池。 Research Report of Amorphous Silicon Solar Battery on Flexible Substrate Abstract: In this paper ,we introduced the topic research background, the operational principle of the key experiment equipment - PECVD deposition system , operation steps and experimental parameters. We also analyzed the spectral characteristics of film material produced , and concluded that in a parameter conditions we can produced the intrinsic layer of film which fit for the requirement of experiment in the chosen stainless steel flexible substrate. Keywords: flexible substrate, amorphous silicon, solar cell. 研究背景 推崇低碳经济和绿色能源已经使得光伏电池已经成为一个庞大的产业。目前市场上的太阳能电池基本上都是刚性基板的。相比而言，制作于柔性衬底上（比如不锈钢超薄片）的太阳能电池具有重量轻，可折叠，携带方便等优点，所以在野外、在旅途过程中，可以作为应急电源对手机、笔记本等数码产品进行充电。另外，它可使用卷对卷（roll-to-roll）生产工艺，从而大大提高生产效率，降低生产成本。 目前在市场上可以见到的柔性太阳能电池主要有三类：非晶硅薄膜[1]、铜铟镓硒[2]、和有机薄膜太阳能电池[3]。由于铜铟镓硒和有机太阳能电池对水蒸汽非常敏感，对柔性封装要求极高，目前没有找到成本可以接受的水蒸汽柔性阻隔材料，从而导致这两类柔性电池的衰减非常快，使用寿命很短，一般也就2-3年。非晶硅中本身由于含有大量的氢而具有排斥水蒸气的特性，所以它对水蒸气不敏感，使用寿命已经被证实超过20年。所以，本课题选择非晶硅薄膜柔性电池，这样的研究会对未来国内柔性电池的产业化有一定的价值。 2、研究内容 2.1 实验工作 2.1.1 PECVD设备认识 本实验采用的是安徽嘉硕生产的JSD350-P辅助化学气相沉积系统，其外观如图1。今年5月中旬开始进行调试，学会操作PECVD是我们项目的核心内容，所以有必要对这个核心设备作一定程度的了解。 图1 JSD350-P辅助化学气相沉积系统 其总体结构分为六个部分：真空系统、电气总控、软件系统、气路单元、水冷系统、尾气处理系统。 真空系统是设备的关键系统之一，由分子泵，机械泵，插板阀，电磁差压式充气阀，电磁阀，挡板阀，充气阀等组成；设备运行时，先由机械泵对真空室预抽（此时，机械泵作为预抽泵），压力到达分子泵启动压强后启动分子泵，由机械泵（此时，机械泵作为前级泵）+分子泵对真空室抽气。抽气过程中，电磁压差式充气阀的作用是防止机械泵内的泵油返到分子泵或者真空室内，电磁阀的作用一方面是防止机械泵的油返到分子泵腔体内，另一方面是可以在不停分子泵的条件下，打开真室室；插板阀作为主抽气阀使用；挡板阀连接机械泵与真空室，作为预抽阀用，分子泵开启进，此阀是关闭的；充气阀用于打开真空室前向腔体内充入气体； 电控系统主要由二个控制机柜组成，具体功能包括基片加热温度的控制，分子泵的控制，流量计的控制，真空计的测量，电源的调节与控制； 软件控制系统主要有真空抽气系统的控制，加热温控电源的控制，以及触摸屏控制等； 气路单元作为设备的一个主要部件，其为工艺参数的可调性提供前提与保证，其主要包括气路截止阀，质量流量控制器，金属管路，工艺气体及气瓶以及相差气路阀门等。 水冷系统由水冷机，冷却水管道组成，主要是对设备中的分子泵及相关发热部件进行冷却，保证正常工作，其包含有缺水警报； 由于PECVD工作时，会用到一些特殊气路，虽然排放量很小，但这些气体仍可能会对人体造成损害，对环境造成污染，因此需要对排放的气路进行处理，本实验采用燃烧炉燃烧处理。 主要技术指标： 极限真空度：优于5×10-5Pa；