1《直拉单晶硅工艺技术》.docVIP

课程授课计划 选用教材及参考资料 《直拉单晶硅工艺技术》黄有志主编 化学工业出版社 授课单元序号 主要教学内容与要求 各教学环节学时数 （在对应栏目中填写学时数） 周次 授课地点 理论 实验 实训 一体化教学 1 教学内容： 1.1-1.4晶体基础知识（一） 教学要求： 熟悉晶体基本知识 2 第 1 周 教学楼 2 教学内容： 1.1-1.4晶体基础知识（二） 教学要求： 熟悉晶体基本知识 2 第 1 周 教学楼 3 教学内容： 2.1-2.5直拉单晶炉 教学要求： 了解直拉单晶炉各部分功能； 2 第 2 周 教学楼 4 教学内容： 单晶硅料与多晶硅料的认识 教学要求： 认识单晶硅料、多晶硅料； 2 第 2 周 冶金材料实验室 5 教学内容： 3.1热系统 教学要求： 1、掌握热场的含义表示方法； 2、熟悉动态热场和静态热场及其对单晶生长的影响。 2 第 3 周 教学楼 6 教学内容： 3.2-3.3安装与对中 教学要求： 1、熟悉安装对中的方法； 2、了解安装对中的不同步骤的参照。 2 第 3 周 教学楼 7 教学内容： 3.4温度梯度与生长 教学要求： 1、熟悉温度梯度对单晶生长的影响； 2 第 4 周 教学楼 8 教学内容： 3.5热场的调整 教学要求： 熟悉热场调整的方法； 2 第 4 周 教学楼