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- 2016-11-08 发布于辽宁
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摘要 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Ⅰ
Abstract .......................................................... Ⅱ
第一章 1
1.1单晶硅的制备方法 ...............................................1
1.1.1区熔法 .................................................... 1
1.1.2直拉法 .................................................... 1
1.2直拉单晶硅的特点 ...............................................2
第二章 直拉单晶炉设备结构及保养与维护 .............................3
2.1直拉单晶硅炉的结构 .............................................3
2.2直拉单晶设备中的各类装置 .
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