学习情景五位置检测装置讲义.ppt

光 栅 6.3 光栅 6.3.1 光栅的结构 光栅是由标尺光栅和光栅读数头两部分组成。 标尺光栅一般固定在机床活动部件上（如工作台上），光栅读数头装在机床固定部件上。 指示光栅装在光栅读数头中。当光栅读数头相对于标尺光栅移动时，指示光栅便在标尺光栅上相对移动。标尺光栅和指示光栅的平行度以及两者之间的间隙（0.05～0.1mm之间）要严格保证。 （1）光栅尺 光栅尺是指标尺光栅和指示光栅，如图所示，它们是用真空镀膜的方法光刻上均匀密集线纹在透明玻璃片或长条形金属镜面。光栅的线纹相互平行，线纹之间的距离（栅距）相等。对于圆光栅，这些线纹是等栅距角的向心条纹。栅距和栅距角是光栅的重要参数。 6.3.1 光栅的结构 （2）光栅读数头 光栅读数头又叫光电转换器，它把光栅莫尔条纹变成电信号。光栅读数头都是由光源、透镜、指示光栅、光敏元件和驱动电路组成。光栅读数头还有分光读数头、反射读数头和镜像读数头等几种。 6.3.1 光栅的结构 莫尔条纹演示 当指示光栅上的线纹和标尺光栅上的线纹成一小角度θ放置两个光栅尺时，造成两光栅尺上线纹相互交叉。在光源的照射下，交叉点附近的小区域内黑线重叠，形成黑色条纹，其它部分为明亮条纹，这种明、暗相间的条纹称为莫尔条纹。 6.3.2 光栅的工作原理 由光学理论可以得到长光栅的斜率为：