扫描电镜SEM概要.ppt

组长： 39 杜颖晴 PPT的制作和修饰 A 组员： 31 陈曼娇 PPT的制作 A 38 陈旭珠 收集资料 A 21 冯斯欣 收集资料 A 68 侯文静 主讲人 A 简要介绍 发展历史 工作原理 应用领域 机构组成 分类 发展方向 参考文献 简要介绍 SEM是scanning electron microscope（扫描式电子显微镜）的简写。 扫描电子显微镜是1965年发明的较现代的细胞生物学研究工具，主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像，这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的，即使用逐点成像的方法获得放大像。 发展历史 1924年，法国科学家De.Broglie证明任何粒子在高速运动时都会发射一定波长的电磁辐射。 1926年．德国科学家Garbor和Busch发现用铁壳封闭的铜线圈对电子流能折射聚焦，即可以作为电子束的透镜。 1935年．法国科学家卡诺尔（M.Knoll）提出了扫描电镜的设计思想和工作原理，并制成了扫描电镜的原始模型。 1942年，英国剑桥大学教授马伦（D.M.Mullan）首次制成世界上第一台扫描电镜的实验装置 1960年，Everhart and Thornley发明二次电子侦测器。 1965年，英国剑桥大学仪器公司（Cambridge Instr.Co）生产了第一台商品扫描电镜，其分辨率为500A，操作程序也相当复杂。 我国电镜研制起步比较迟，1958年在长春中国科学院光学精密机械研究所生产了第一台中型电镜。 1975年中国科学院北京科学仪器厂成功试制了第一台DX-3型扫描电镜，分辨率为10nm，填补了我国扫描电镜的空白。 应用领域 当今, 随着电子源、扫描以及图像采集和处理系统等的发展, 扫描电子显微镜( ScanningElectron Microscope,简写为SEM) 已成为纺织、植物学、微生物学、古生物学、医学、考古学、冶金、机械加工、物理学、材料学、化学、电子学、地质矿物学、食品科学、半导体制造、微电路检查, 甚至月球岩石样品分析等领域的主要研究手段。同时它还在向复合型方向发展, 即和X射线能谱分析技术 ( X- ray Energy DispersiveMicroanalysis,简称EDS) 进行结合, 成为研究分析物品表面结构与微区化学成分的最有效的工具。 SEM在材料和冶金工业应用也很广泛，包括断裂失效分析、产品缺陷原因分析、镀层结构和厚度分析、涂料层次与厚度分析、材料表面磨损分析、耐火材料的结构与饰损分析等等。 SEM在纳米材料领域的应用：纳米材料独特的物理化学性质主要来源于它的超微尺寸及超微结构，因此对纳米材料表面形态的观察成为对其研究和应用的基础。而SEM在纳米级别材料的形貌观察和尺寸检测方面依靠其高分辨率。良好的景深简易的操作等优势被大量采用。 工作原理 用一束极细的电子束扫描样品，在样品表面激发出次级电子，次级电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样品的表面结构有关，次级电子由探测体收集，并在那里被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。 为了使标本表面发射出次级电子，标本在固定、脱水后，要喷涂上一层重金属微粒，重金属在电子束的轰击下发出次级电子信号。 扫描图像为立体形象，反映了标本的表面结构。 扫描电镜下的花粉粒图片 红细胞扫描电镜 扫描电镜下的蔗糖颗粒 扫描电镜下的受精卵 扫描电镜有三大组成，分别是： 1，真空系统? 2，电子束系统? 3，成像系统? 1，真空系统 主要包括真空泵和真空柱两部分。 真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的SEM的真空要求，但对于装置了场致发射枪或六硼化镧枪的SEM,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。 ?? 真空柱是一个密封的柱形容器。?成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端为密封室，用于放置样品。 为什么需要真空系统呢？ 有两个原因： 1，电子束