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电容式压力传感器精度影响因素分析 　　【摘 要】电容式压力传感器是一种利用电容敏感元件将被测压力转换成与之成一定关系的电量输出的压力传感器。直接接触或接近被测对象而获取信息，与被测对象同时都处于被干扰的环境中，不可避免地受到外界的干扰。本文从电容式传感器的结构、工作原理、性能分析影响电容式压力传感器精度的因素。 　　【关键词】电容式压力传感器；误差；干扰 　　0.概述 　　我们所处的时代是信息时代，信息的获取、检测要靠传感器和传感技术来实现。传感器越来越广泛地应用于航空、常规武器、船舶、交通运输、冶金、机械制造、化工等技术领域。电容式压力传感器是一种利用电容敏感元件将被测压力转换成与之成一定关系的电量输出的压力传感器。压力传感器是目前所有传感器种类来说，是使用最多的传感器，它的市场占有量也不不可估量的，那么它的各项技术也得根据市场需要，进行不断的改进和完善，以适应各个领域越来越苛刻的环境。 　　1.电容式压力传感器工作原理及其数学模型 　　1.1结构介绍 　　电容式压力传感器主要由一个膜式动电极和两个在凹形玻璃上电镀成的固定电极组成差动电容器即敏感元件。敏感元件是由隔离膜片、电容固定极板、测量膜片、灌充液组成，以测量膜片为中心线轴对称，测量膜片与两侧的金属模构成一对相等的平行板电容。如图1所示。 　　图1 敏感元件结构图 　　1.2工作原理 　　当被侧压力或压力差作用于膜片并产生位移时，形成的两个电容器的电量一个增大、一个减小。该电容值的变化经测量电路转换成与压力差相对应的电流或电压的变化。 　　图2 电容式压力传感器工作原理图 　　1.3压力—电容转换 　　如图3所示，被测压力通过高压侧隔离膜片，加到灌充液，液体流过瓷心孔进入腔室，将压力加到测量膜片上，膜片受力后发生位移，测量膜面与两侧构成的电容值随之变化，低压侧电容增加，高压侧电容减少。 　　图3 平行板电容器 　　厚膜片位移与差压转换关系如下： 　　△d=··△P=K△P △d≤t （ 公式1） 　　其中： 　　μ：伯桑系数；R：膜片周边半径；△d：膜片中心处位移 　　t：膜片厚度；△P：被测差压；E：膜片材料的杨氏弹性恒量 　　薄膜片具有初始张紧，其位移与差压转换公式如下： 　　△d=·△P=K△P （公式2） 　　差压作用于室时，中心膜片的位移 与差压成正比。 　　1.4位移—电容转换 　　由于固定极板凹面直径很大，可视为平行板电容器，平行板电容C=。 　　ε为平行板中间介质的介电常数； 　　A平行板电容的面积； 　　d平行板电容两端间距。 　　PH：高压室所受压力；PL：高压室所受压力。 　　当两边压力相等时即PH=PL，初始电容量C=C=K 　　当PHPL，测量膜片位移为△d，此时低压侧的电容为C=K（d0-△d），高压侧电容为CH=K（d0+△d），取= 　　△d·K2= 　　（公式3） 　　由公式2、公式3可知△P·K·K= 　　（公式4） 　　改变结构系数K1即可实现不同量程的测量，将位移量转换成 　　的变化。 　　1.5电容比—电流的转换 　　解调器将流过CL、CH的交流电流解调成直流电流IL、IH，原理图如图4 　　图4 　　2.电容式压力传感器的性能 　　2.1静态特性 　　当被测量X不随时间变化，或随时间的变化程度远缓慢与传感器固有的最低阶运动模式的变化程度时，传感器的输出量Y与输入量X之间的函数关系。因为这时输入量与输出量都和时间无关，所以他们之间的关系即传感器的静态特性可用一个不含时间变量的代数方程，或以输入量做横坐标把与其对应的输出量作纵坐标而画出的特性曲线来描述。表征传感器静态特性的主要参数有：线性度、灵敏度、分辨力和迟滞等。 　　2.2动态特性 　　当被测量X随时间变化，而且随时间的变化程度与传感器固有的最低阶运动模式的变化程度相比不是缓慢的变化程度时，传感器的输出量y与输入量X之间的函数关系。 　　在实际工作中，传感器的动态特性常用它对某些标准输入信号的响应来表示。这是因为传感器对标准输入信号的响应容易用实验方法求得，并且它对标准输入信号的响应与它对任意输入信号的响应之间存在一定的关系，往往知道了前者就能推定后者。最常用的标准输入信号有阶跃信号和正弦信号两种，所以传感器的动态特性也常用阶跃响应和频率响应来表示。 　　3.影响电容式压力传感器精度的因素 　　电容式压力传感器直接接触或接近被测对象而获取信息，与被测对象同时都处于被干扰的环境中，不可避免地受到外界的干扰。压力传感器如果说它的抗干扰能力不过硬，那么在它的价值上，也是个相差很大的，因为的应用范围受了很大的限制，所以市场前景也是得不到扩大的，提高抗体干扰性是不容忽视的问题。 　　3.1温度