激光強度和波长对多孔硅拉曼光谱的影响.docVIP

PAGE PAGE 3 西北大学学报(自然科学网络版) 2004年10月，第2卷，第10期 Science Journal of Northwest University Online 　 Oct. 2004，Vol.2，No. 10 ________________________ 收稿日期：2004-08-24 审 稿 人：张建生，男，西安工业学院教授。 激光强度和波长对多孔硅拉曼光谱的影响 邓晓颖1 ，倪通文2，刘钟燕3 （1.西安工业学院 数理系，陕西 西安 710032， 2.甘肃省分析测试中心，甘肃 兰州 730000， 3.西安工程科技学院，陕西 西安 710048 ） 摘要：研究了激光功率和波长变化对电化学腐蚀法制备的多孔硅（PS）的拉曼谱线影响。研究表明激光强度可以导致显微应力变化，使拉曼谱线发生不同程度的频移、展宽、不对称延伸；激光波长使不同尺寸晶粒和缺陷有所响应。在对拉曼谱线的影响方面,激光强度导致的应力变化超过尺寸效应,波长选择效应与尺寸效应相近，实验是可逆的。 关　键　词：多孔硅；拉曼光谱；选择效应；显微应力。 中图分类号：O434.13 文献标识码：A 文章编号：1000-274X(2004)0101-3 半导