工具機的六自由度誤差與量測方法-南台科技.pptVIP

工具機的六自由度誤差與量測方法 奈米三乙張君瑋 大綱 前言 工具機的六自由度誤差 自由度誤差的量測 結論 前言 在機械加工時，當嚴格作精度的要求時，我們將會發現變數很多，如果空間定位沒有適當的定義，將使得量測結果陷於混亂。 ex:在精確定位之測量假定工件僅沿X軸直線移動其誤差受六度自由度(six degrees of freedom)即沿X、Y及Z軸之移動加繞X、Y及Z軸轉動之影響,所以如果只測定其在X軸上移動長度誤差就會較實際應有之誤差相差很多。 工具機的六自由度誤差 使用雷射干涉儀量測 雷射干涉儀的用途極為廣泛，最主要有位移、角度、直線度和平面度等之量測，其間最大的差異點在於鏡組和組裝的不同。 (1)位移量測 (2)角度量測 (3)直線度量測 (4)平面度量測 (5)直角度量測 (6)其他 位移量測 本項功能為雷射干涉儀最基本的量測功能，主要係使用線性位移量測鏡組，來量測床台剛體運動之位移量或速度，其鏡組組裝如圖所示，此項組裝亦可用於速度之量測。 角度量測 使用角度位移量測鏡組，可用來量測剛體運動時之角度誤差， 如滾轉(roll) 、偏擺(yaw) 、俯仰(pitch) 等，其鏡組組裝如圖所示，此項組裝亦可用於精密分度盤或旋轉盤之校正。 直線度量測 使用直線度量測鏡組，鏡組組裝如圖所示，此項組合適用於量測剛