09-2 等离子体及其应用.ppt

等离子体及其应用技术 材料科学与工程学院 等离子体的定义与分类 等离子体是物质存在的一种状态，分为固态S→ 液态L→气态G→等离子态P（气体电离率≥5%）。 温度106～8K 温度室温～3×104K 热 冷 焊接、切割、喷涂、表面冶金中应用的是直流放电压缩电弧等离子体（ 热 等离子体）。显示屏、节能灯、真空镀膜等应用的是 冷 等离子体。 由大量的带电粒子组成的非束缚态的宏观体系 非束缚性：异类带电粒子之间相互“自由”，等离子体的基本粒子元是正负荷电的粒子（电子、离子），而不是其结合体。 粒子与电磁场的不可分割性：等离子体中粒子的运动与电磁场（外场及粒子产生的自洽场）的运动紧密耦合，不可分割。 集体效应起主导作用：等离子体中相互作用的电磁力是长程的。 等离子体是物质第四态 人工等离子体（Plasma）的主要产生方式： 燃烧P、电弧P、高频P、激光P、聚变P等 工业中常用的气体放电法分为： 直流放电：高压击穿，高空载电压下直流放电 低频放电：1～100kHz 高（射频）放电：10～100MHz，常用13.56MHz 微波放电：＞1GHz，常用2.45GHz 直流放电：汤生放电→电