氬气回收项目计划书.docVIP

技术开发项目计划任务书 项目名称 氩气回收 项目编号 立项单位 镇江荣德新能源科技有限公司 内部订单号 1、立项依据（任务来源；项目开发的目的与意义；本项目将达到的技术水平及市场前景） 目前氩气供应比较紧张，氩气价格又高。从改善低碳环境的角度出发，氩气回收将成为未来发展中一件很有意义的工作。减少了硅片的制造成本，减少了氩气的排放，循环使用节省了从空气中分离氩气所需的能耗。目前国际上还没有成熟运行的此类项目，德国的专业气体公司和美国MEMC合作在马来西亚工厂在试验。 2、开发内容和目标（项目主要内容、目标及关键技术；技术创新之处；主要技术指标或经济指标） 与东方气体公司合作，其提供能同时回收三台铸锭炉的氩气回收设备一套；在试验过程中派技术人员到现场服务和调试。 我方提供三台铸锭炉的尾气以及必要的电、水和气；并将对回收纯化后的氩气进行采样并送上海测试中心进行分析。并负责管道改造的材料。 氩气回收试验装置在荣德公司投入运行30天内，测量分析纯化后的氩气质量。 验收标准及方法： 序号 验收项目 验收标准 验收方法 1 油含量 0.1mg/m3 取样分析 2 含碳量 小于2ppm 取样分析 3 含氧量 ＜0.5ppm 取样分析 4 含氮量 小于4ppm 取样分析 5 含水量 ＜2ppm 取样分析 6 含氢量 ＜1ppm 取样分析 3、开发试验方法及技术路线（或工艺路线） 氩气回收装置采用的基本方法、主要能耗、回收标准： 采用物理吸附及化学反应的方法来去除氩气中的杂质。 物理吸附，如采用冷冻、过滤、吸附方法。 化学反应，根据杂质固有的特性，在催化剂或者吸附剂的作用下，将杂质反应掉，生成一种能被吸附剂吸收掉的物质，从而提纯氩气的纯度。 回收一台铸锭炉电耗为1.5KW。 回收氩气纯度符合新鲜氩的质量标准。符合国家标准GB/T4842-2006 氩气≥99.999%，H2≤0.5ppm、O2≤1.5ppm,N2≤4ppm,甲烷（总碳）≤1ppm， 水份≤3ppm。 具体见附件 4、现有开发条件和工作基础（人才、设施设备条件；已有的预试、小试成果等） 铸锭炉排放的氩气采样，送中国上海测试中心（华东国家计量测试中心）监测。 研发人员：秦福 （教授级高工、政府特殊津贴） 余刚 （高级工程师） 闫永兵 （工程师） 顾兴升 （高级工程师） 已经在试制氩气纯化设备。 已经确定了有3台多晶铸锭炉用于回收试验。小试在积极准备中。 详细进度见《氩气回收计划进度表》。 5、计划进度 项目实施期限： 2011 年 01 月 20 日至 2010 年 06 月 20 日 时间 进度安排和考核指标 2011年度（第一季度） 氩气管道改造法案，出具材料、试验辅材表 我方采购部相关材料的采购 氩气管道改造工程、水、电、气准备，试验辅材准备 2011年度（第二季度） 设备进厂、管路连接 东方气体公司回收试验 氩气检测 试验评估和改进 6、经费预算（参考附录B中的项目经费支出预算表） 单位：千元 经费支出预算 科 目 预算数 4月份 5月份 6月份 新产品设计费 工艺规程制定费 设备调试费 10.000 20.000 20.000 用于研究开发的原材料、半成品试制费 100.000 100.000 100.000 技术图书资料费 1.000 2.000 1.000 中间实验费 50.000 50.000 50.000 研究设备及设施折旧额 30万元以下一次性进费用的用于研究开发的仪器和设备 300.000 研究人员工资 20.000 20.000 20.000 委托其他单位进行科研试制的费用 200.000 与技术开发有关的其他费用（检测费） 30.000 30.000 30.000 合计 711.000 222.000 221.000 总计 1154.000 项目财务负责人审查确认（签字/日期）： 7、主要（大中型）设备清单 名称 单价 数量 总价 氩气纯化设备 1 氧含量（一氧化碳、二氧化碳、氧气）在线监测设备 1 水分在线检测设备 1 氮气在线监测设备 1 8、主要研究人员情况 姓名 部门 专业 职务 本项目中承担工作 闫永兵 技术部 应用化学 工程师 氩气纯化试验、全程进度跟踪，检测和评估 秦福 技术部 高级工程师、教授 氩气回用工艺