潔净区悬浮粒子监测标准操作规程.docVIP

洁净区悬浮粒子监测标准操作规程 目的：为规范洁净区尘埃粒子检测标准操作规程。 范围：适用于洁净区尘埃粒子检测的操作。 责任：QA洁净度监测人员。 程序： 4.1概述：洁净区悬浮粒子监测采用计数浓度法，既通过测定洁净区环境内单位体积空气中 含大于或等于某粒径的悬浮粒子数，来评定洁净室（或洁净区）的悬浮粒子洁净度等级。 4.2仪器：Y09-9型激光尘埃粒子计数器。 4.3监测原理：空气中悬浮粒子在光的照射下产生光散射现象，散射光的强度与粒子的表面 积成正比。 测试规则 洁净室（区）的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应（温度控制在18℃～ 26℃，相对湿度控制在45%～65%之间为宜）。 4.4.1.2 压差：空气洁净度不同的洁净室（洁净区）之间的压差应≤5 Pa ，空气洁净度级别要求高的洁净室（洁净区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（洁净区）一般呈相对正压。 4.4.2 测试状态 4.4.2.1 静态测试和动态测试 静态测试时，室内测试人员不得多于2人。测试报告见厂房洁净度悬浮粒子监测记录表。 动态测试指洁净室已处于正常状态下的测试。 测试时间 测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始。 悬浮粒子计数 采样点数目及其布置 最少采样点数目，悬浮粒子洁净度测试的最少采样点数目见下表1。 表 1 最少采样点数目 面积S m2 洁 净 度 级 别 1