薄膜物理与技术课件-11.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 7 薄膜的形成 7.0 薄膜生长过程概述 薄膜生长过程直接影响薄膜的结构及其最终性能。 吸附、反射、扩散、再蒸发、凝结、形核、岛形成、合并与生长、形成连续膜层。 * 薄膜的特点 ⑴厚度薄（微米以下）； ⑵内部缺陷多； 一般，我们接触的物体——温度缓慢变化、几乎处于热平衡状态下制作的——内部缺陷少，形状一般为块状。 ⑶表面效应显著（二维结构）。 从上面几点，薄膜与常见物体有很大差异。 薄膜结构和性能的差异与薄膜形成过程中的许多因素密切相关。制备方法不同，形成的机理不同，但在许多方面，有共性特点。 本章以真空蒸发薄膜的形成为例进行重点讨论。 * 7.1 吸附、表面扩散、凝结过程 7.1.1 吸附 吸附现象 带有一定的能量的气相原子到达基板表面后，可能： （1）与基板原子之间进行能量交换被吸附； （2）吸附后，气相原子仍有较大的解析能，在基板表面短暂停留后，再解析蒸发； （3）与基板表面不进行能量交换，直接被基板反射回去。 绝大多数气相原子都被吸附到表面， 若吸附仅由原子电偶极矩之间的范德华力起作用——物理吸附； 若吸附由化学键结合力起作用——化学吸附。 * 物理和化学吸附 （