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- 2016-12-06 发布于湖北
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清洗制绒培训课件 刘汉清 太阳能电池生产流程 硅片从切片工序到电池车间之间,要经历很多工序,在这些工序中,硅片的表面会附着部分的杂质和污物,这些杂质和污物会严重电池的性能,所以要对硅片进行表面清洗以去除这些杂质。 硅片在切割过程中会在表面形成大约10μm厚 的损伤层,这一层因为与硅片基体的状态已经 不同,基本上已经剥离于集体,会严重影响半 导体器件(太阳电池)的性能。清洗工序制绒 工艺就是利用硅片的这一层损伤层,通过硝酸 对其氧化制绒,形成高低不平的表面,大大增 加电池片表面的受光面积,减少反射,从而提 高太阳电池的转换效率。 晶体结构:金刚石结构(正四面体) C. 金属离子沾污:必须采用化学的方法才能清洗其沾污,硅片表面金属杂质沾污有两大类: a.一类是沾污离子或原子通过吸附分散附着在硅片表面。 b.另一类是带正电的金属离子得到电子后面附着(尤如“电镀”)到硅片表面。 硅抛光片的化学清洗目的就在于要去除这种沾污,一般可按下述办法进行清洗去除沾污。 a. 使用强氧化剂使“电镀”附着到硅表面的金属离子、氧化成 金属,溶解在清洗液中或吸附在硅片表面。 b. 用无害的小直径强正离子(如H+)来替代吸附在硅片表 面的金属离子,使之溶解于清洗液中。 c. 用大量去离水进行超声波清洗,以排除溶液中的金
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